(Ba_(0.7)Sr_(0.3))TiO_3铁电薄膜热敏电容器的研制

采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的BST((Ba0 .7Sr0 .3)TiO3)铁电薄膜热敏电容器 .介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺 .根据热敏电容器的电容 -温度曲线 ,分析了热敏电容器的工作原理 .实验结果表明BST铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近 ,约 2

热敏电容器材料的研制

本文旨在介绍一种具有热敏特性的电容器材料。该材料由钛酸钡、钛酸锶用普通陶瓷工艺制成，在－40℃至＋100℃温度范围内，介电常数遵循居里—外斯定律，因此可用于制作温度传感器。