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题名新型埋入式板级封装技术
被引量:6
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作者
曹立强
张霞
于燮康
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机构
中国科学院微电子研究所系统封装技术研究室
封测产业链技术创新战略联盟
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出处
《中国科学:信息科学》
CSCD
2012年第12期1588-1598,共11页
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文摘
越来越多的高密度、多功能和小型化需求给封装和基板都带来了新的挑战,很多新的封装技术也应运而生,包括引起众多关注的埋入式封装技术.在本文中,我们首先对埋入封装技术的优势、挑战以及发展现状进行了介绍.然后通过将功能性有源器件埋入到有机基板中的尝试说明了设计、制造和测试埋入式封装这一新兴技术的可行性.制定一个切实可行的解决方案,有利于降低制造成本和市场的产品开发周期.我们提出的这种埋入式板级封装技术,与传统的封装和基板工艺都兼容.此外,本文设计了将功能性的MOSFET有源芯片埋入到有机基板中的板级封装模块结构,对该模块进行了热机械仿真分析,找到了最大应力点,优化了工艺设计.最后,结合传统的基板工艺,制备了埋入式板级封装样品,并完成了埋入式板级封装模块的电阻通断测试和功能测试,验证了该工艺设计的可行性.
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关键词
埋入式板级封装
有机基板
MOSFET芯片
热机械仿真
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Keywords
embedded panel level package
organic substrate
MOSFET bare die
thermal-mechanical simulation
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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