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硅纳米材料简介及硅纳米线的现代合成方法 被引量:3
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作者 刘茂玲 丁云桥 段希娥 《有机硅材料》 CAS 2009年第1期60-62,共3页
简要介绍了纳米材料、硅纳米材料的起源、发展,着重按硅纳米线的生长机理概括了5种合成方法:气-液-固生长法、有机溶液生长法、氧化物辅助生长法、分子束取向附生法、固-液-固生长法。
关键词 硅纳米材料 硅纳米线 激光烧蚀 热气相沉积法 化学气沉积 微电子
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