热波探针在离子注入表征上的应用

离子注入工艺稳定性的多个表征方法中,热波探针法快速、灵敏且无损,可用于离子注入工艺角度、注入剂量及均一性的表征。介绍了热波探针应用的理论依据和数据实例,并结合数据实例研究了热波探针法的应用特点和规律。当热波探针应用于离子注入角度表征时,需要保证前期机械校准的有效性及隧穿效应敏感区角度的选用。当应用于剂量准确性和均一性表征时,则需要将注入剂量控制在中、低等剂量范围内,避开隧穿效应敏感区,还需有效规避热晶圆效应。

热波探针灵敏度的理论分析

当一束聚焦的、调制的激励激光照射固体材料时，表面上除了产生周期性的温 度分布，还产生局部的周期性形变。在形变区域，探测激光束的反射光受到周期性的偏 转。研究了这种周期性偏转与材料性质和激励激光束参数之间的关系。从热弹性学基本 方程出发建立了数学模型。利用Ｈａｎｋｅｌ积分变换方法得到了交变偏转角的积分表达 式。给出了对于单晶硅的若干计算机模拟结果。

热波检测及热波成像系统的实验研究

介绍制成的热波检测及成像系统的原理、结构和实验结果。这种系统的基本特征是能对试件材料热性质（例如热传导系数）的差异作出响应，并能将扫描过程中逐点测得的结果表现为一幅反映热性质分布的高分辨率图像。因此，凡引起试件热性质发生变化的因素均可用这种系统来发现和评估。这种以热过程为基础的方法是对光学、声学、电磁、辐射等材料检测评估方法的重要补充，并在某些情况下有其独特的优点。