热源并联式全透气碳化硅合成炉的模拟分析

介绍了自主研发设计的新型碳化硅合成炉合成原理。研究了炉内温度场,压力场的变化规律,模拟结果和实验结果与传统单热源进行对比。研究表明,热源并联式全透气碳化硅合成炉可以有效增加合成反应区域,炉内压力维持在0.101~0.113 MPa之间,所产生的CO气体能从排气装置顺利排出,炉内气体最大流速不超过0.6 m/s,从而有效防止喷炉事故和有毒气体对人员危害,合成产品的致密性明显提高。