后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响

SU-8光刻胶层内应力会使胶体结构开裂变形,而其在电铸液中的热溶胀效应则是造成微电铸结构线宽减小的主要因素,SU-8胶的内应力和溶胀性还严重地影响所制作图形的深宽比和尺寸精确性。本文研究了不同后烘温度下SU-8胶在电铸液中的热溶胀性及胶层的内应力,在其他工艺参数相同的情况下,测量了SU-8胶微通道线宽随溶胀时间的变化。溶胀实验结果表明,后烘温度越低,SU-8胶的溶胀变形越大,且热溶胀现象主要发生在前30 min;其后,溶胀速率逐渐减缓而趋于稳定。在对SU-8胶后烘后,利用基片曲率法测量了胶层内应力的大小。实验数据表明,采用较低的后烘温度可以降低SU-8胶层的内应力。因此,在工艺过程中,应该综合考虑热溶胀性及胶层内应力的影响,根据实际加工器件的要求适当选取后烘工艺参数。

UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究

对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结果与实验值基本吻合。仿真结果可用来优化掩模图形的设计及预测电铸后微模具的尺寸。

金属微结构电铸制造用SU-8胶的热溶胀性研究

为解决金属微结构电铸制造用SU-8胶受热易溶胀的难题,在剖析热溶胀机理的基础上开展了实验研究,结合实验结果针对性提出尺寸补偿法、优化胶模结构和降低温度三项抑制热溶胀的措施。

溶胀热重分析法研究腈纶纤维的侧序结构

本文用溶胀热重分析法(溶胀TGA)研究了影响腈纶纤维的各种因素,如纤维的化学组成,热处理条件,纺丝方法等。发现一般的溶胀TGA曲线都有三个增重峰,分别对应三种侧序结构,即无定形纸序区、中序区,和蕴晶高序区,化学组成中第二单体和第三单体含量增加都使纤维的序态降低,三单作用比二单更加敏感,热定型使纤维的低序区向高序区转化,蒸汽热定型比干热定型作用显著。

热胀离解法研究结合胶填料网络性能

通过分析结合胶离解温度曲线,研究填料与橡胶之间的作用力。采用溶剂法分别制得6种不同填料的结合胶,探索结合胶的最佳解离时间,分析结合胶微观形貌结构、热胀离解温度及硫化后的宏观性能。结果表明,白炭黑在常温下体现出优异的补强性能,但在高温下的键能较弱;高结构炭黑在低温至高温下都表现出优良的补强性和成键稳定性,且硫化胶具有最优的定伸应力和拉伸强度;普通炭黑在低温和高温下的各项性能都处于中等,但在超高温下,其补强性能表现最为优异。

煤低温自燃发火的热效应及热平衡测算法

煤在低温自燃发火过程中的热效应是多种多样的 ,但主要是煤与氧的化学反应热 通过装煤 85 0kg的大型煤低温自燃发火实验台模拟煤自燃过程 ,根据实验台测定的温度场变化和传热学理论 ,推导出计算不同温度时松散煤体低温氧化放热强度的热平衡测算法 通过对不同煤样的自燃发火测试 ,利用该方法推算出不同的煤在相同温度下的放热强度 ,为煤自燃特性的定量分析及自燃发火预测提供了理论依据 图 1,表 1,参

基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法

以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法,即在图形四周增设一条封闭等间距的隔离带,用隔离带减少影响图形区域的SU-8胶模的体积,阻止电铸时该处胶模的热溶胀对图形区域的影响,进而减小铸层尺寸变化。结果表明,采用增设隔离带方法制作的镍模具,胶模线宽变化量最大值由61μm减小到31.4μm,铸层尺寸相对误差的最大值由31.3%减小到16.7%,这种方法显著提高微电铸铸层的尺寸精度。

SBS与沥青、软沥青质的相互作用及其过程

为了研究苯乙烯 -丁二烯嵌段共聚物 (SBS)与沥青、软沥青质的相互作用及其过程 ,采用荧光显微照相技术获得聚合物相在沥青中的显微结构 ,发现SBS在沥青中的溶胀、分散是一个动态平衡的过程 ,沥青质及聚合物都需要足够的软沥青质来维持其在沥青中的稳定 ;SBS改性沥青具有热溶胀冷析出的特点 ,SBS相的形态结构受降温速率的影响 ,改性沥青中的软沥青质在常温存贮过程中会从SBS相中部分析出 ,造成聚合物相的面积百分率减少 ,软化点下降 ,存贮稳定性下降 .

溶剂法制备天然橡胶结合胶的研究

结合胶是未硫化的混炼胶中不能被其良溶剂溶解的那部分橡胶。用化学溶剂法制备结合胶具有药品用量小、实验过程操作简单,重现性好等优点。通过讨论橡胶加入量、炭黑用量、反应时间、静置时间等因素,确定了溶剂法制备结合胶的最佳工艺参数,并与混炼法制备的结合胶进行了性能对比。结果表明,橡胶在甲苯溶液中的质量浓度约为0.02g/mL、橡胶和炭黑的质量比为2∶1、反应时间为14h、静置时间为72h的工艺参数下,可以制得高质量结合胶。混炼法制备的结合胶的质量比溶剂法制备的结合胶的质量大。但是其具有与溶剂法结合胶相同的抽提温度曲线,在结合胶的实验研究中,可以用溶剂法代替混炼法。

纤维素粒径对胶原纤维膜性能的影响

因天然肠衣存在来源有限、加工繁琐以及质量不稳定等问题,机械化程度高、质量稳定的胶原肠衣已被广泛应用于肠衣加工等肉制品工业中。但国内胶原肠衣生产起步较晚,肠衣还存在强度不够、应用品质较差等问题,本研究以期通过纤维素共混的方式来改善胶原肠衣的特性,探索纤维素粒径对胶原肠衣的影响规律及机制。测定胶原纤维膜的物化特性和应用扫描电子显微镜(SEM)等手段,观测添加不同尺寸和添加量的纤维素共混胶原纤维膜中纤维素以及胶原纤维的排列结构;运用傅里叶红外光谱(FTIR)分析、X射线衍射仪(XRD)、差示扫描量热仪(DSC)等手段分析测定胶原纤维膜的结构特点和热稳定性;结合胶原膜宏观理化特性和微观结构的特点,分析不同粒径纤维素对膜性能影响规律及其原因。结果表明,添加200 PF纤维素的膜样品具有最致密、光滑的微观结构,且表现出了最好的性能,其中湿态和水煮拉伸强度分别提高260%、50%,而热变性温度升高了约10℃。本研究以期将其应用于胶原纤维肠衣的实际生产中,为其品质的提高提供技术指导。