CMOS数字热真空传感器芯片设计

基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨的共模输入范围。为满足精度要求,对SAR ADC中数模转换器电容阵列进行优化设计,并采用输出失调存储技术消除比较器的失调电压。数字电路采用查表法将电压信号变换为气压值。结果表明:运算放大器能无失真地驱动200Ω电阻,模数转换器的有效位为9.5 bit。运算放大器、模数转换器、数字信号处理电路性能良好,满足传感器系统要求。

基于LSSVM的热偶规真空传感器非线性补偿方法

提出一种用最小二乘支持向量机构成补偿模型的热偶规真空传感器非线性补偿方法,用现场采集的测量数据组成实验样本,实验结果表明所提出的方法可有效降低热偶规的测量误差,补偿精度优于普通支持向量机。