热解氮化硼材料制备方法以及性能研究

本文主要介绍了热解氮化硼材料制备方法,系统介绍了化学气相沉积法制备的热解氮化硼的沉积机理,对热解氮化硼的沉积机理和反应机理进行分析,对热解氮化硼材料性能做了简单测试。

高密度热解氮化硼材料的制备及性能表征

本文采用化学气相沉积法(CVD)制备热解氮化硼,通过调整CVD温度、CVD压力,获得了密度大于2.17g/cm^3、金属杂质含量小于10×10^(-6)、层结构均匀、室温热导率达90 W/m·K的高密度热解氮化硼板材。测试结果表明,不同密度热解氮化硼材料的性能差异较大,高密度热解氮化硼产品具有更加优越的理化性质。