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应用于微系统封装的激光局部加热键合技术 被引量:12
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作者 赖建军 陈西曲 +2 位作者 周宏 刘胜 易新建 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期257-260,共4页
阐述了利用激光与物质相互作用的热效应实现微系统器件的局部加热键合原理 ,提出了激光键合塑料芯片和激光辅助加热阳极键合的思想 ,建立了半导体激光键合实验装置 ,并实现了聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)
关键词 微系统封装 激光 热键合技术 微机电系统 聚甲基丙烯酸甲酯
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热键合YAG/Nd:YAG复合晶体的透过光谱研究 被引量:7
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作者 孙敦陆 张庆礼 +6 位作者 王召兵 苏静 谷长江 张霞 邵淑芳 王爱华 殷绍唐 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期229-232,共4页
本文在一定的温度和压力下,通过热键合技术,获得了YAG/Nd:YAG复合晶体。这种复合晶体在非吸收波段的光学透过率与通过一块相同厚度Nd:YAG晶体的光学透过率实验值以及理论值相一致。因此从透过率的角度,表明纯YAG晶体与Nd:YAG晶体间的键... 本文在一定的温度和压力下,通过热键合技术,获得了YAG/Nd:YAG复合晶体。这种复合晶体在非吸收波段的光学透过率与通过一块相同厚度Nd:YAG晶体的光学透过率实验值以及理论值相一致。因此从透过率的角度,表明纯YAG晶体与Nd:YAG晶体间的键合区域为均匀过渡,基本上无散射界面存在,实现了一体化。 展开更多
关键词 晶体 热键合技术 透过率 热处理 激光器
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基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的1.5μm人眼安全自拉曼激光器
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作者 安珍妮 张倩倩 +1 位作者 刘倩慧 李健 《山东师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第4期93-96,共4页
本文研究了基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的主动调Q人眼安全自拉曼激光器的激光输出特性.实验中,采用声光主动调Q、808 nm激光二极管端面泵浦的方式,成功获得1 525 nm人眼安全拉曼激光输出.在19.3 W的泵浦功率下,获得的最大的... 本文研究了基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的主动调Q人眼安全自拉曼激光器的激光输出特性.实验中,采用声光主动调Q、808 nm激光二极管端面泵浦的方式,成功获得1 525 nm人眼安全拉曼激光输出.在19.3 W的泵浦功率下,获得的最大的输出功率为1.76 W.相应的光-光转换效率为9.1%,此时拉曼光的脉冲宽度为30 ns,对应的峰值功率为11.7 k W.实验结果表明采取多段键合的方式可以有效的提高泵浦光的吸收效率从而提高光光转换效率而得到更好的拉曼输出功率. 展开更多
关键词 人眼安全激光 自拉曼 热效应 热键合技术 ND:YVO4晶体
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高聚物芯片毛细管电泳——电化学检测系统的研究
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作者 陈志锋 高云华 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期396-396,共1页
关键词 高聚物 芯片毛细管电泳 电化学检测系统 光刻技术 化学刻蚀技术 聚甲基丙烯酸甲酯电泳芯片 在线聚技术 真空热键合技术
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