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应用于微系统封装的激光局部加热键合技术
被引量:
12
1
作者
赖建军
陈西曲
+2 位作者
周宏
刘胜
易新建
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期257-260,共4页
阐述了利用激光与物质相互作用的热效应实现微系统器件的局部加热键合原理 ,提出了激光键合塑料芯片和激光辅助加热阳极键合的思想 ,建立了半导体激光键合实验装置 ,并实现了聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)
关键词
微系统封装
激光
热键合技术
微机电系统
聚甲基丙烯酸甲酯
下载PDF
职称材料
热键合YAG/Nd:YAG复合晶体的透过光谱研究
被引量:
7
2
作者
孙敦陆
张庆礼
+6 位作者
王召兵
苏静
谷长江
张霞
邵淑芳
王爱华
殷绍唐
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期229-232,共4页
本文在一定的温度和压力下,通过热键合技术,获得了YAG/Nd:YAG复合晶体。这种复合晶体在非吸收波段的光学透过率与通过一块相同厚度Nd:YAG晶体的光学透过率实验值以及理论值相一致。因此从透过率的角度,表明纯YAG晶体与Nd:YAG晶体间的键...
本文在一定的温度和压力下,通过热键合技术,获得了YAG/Nd:YAG复合晶体。这种复合晶体在非吸收波段的光学透过率与通过一块相同厚度Nd:YAG晶体的光学透过率实验值以及理论值相一致。因此从透过率的角度,表明纯YAG晶体与Nd:YAG晶体间的键合区域为均匀过渡,基本上无散射界面存在,实现了一体化。
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关键词
复
合
晶体
热键合技术
透过率
键
合
面
热处理
激光器
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职称材料
基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的1.5μm人眼安全自拉曼激光器
3
作者
安珍妮
张倩倩
+1 位作者
刘倩慧
李健
《山东师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2016年第4期93-96,共4页
本文研究了基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的主动调Q人眼安全自拉曼激光器的激光输出特性.实验中,采用声光主动调Q、808 nm激光二极管端面泵浦的方式,成功获得1 525 nm人眼安全拉曼激光输出.在19.3 W的泵浦功率下,获得的最大的...
本文研究了基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的主动调Q人眼安全自拉曼激光器的激光输出特性.实验中,采用声光主动调Q、808 nm激光二极管端面泵浦的方式,成功获得1 525 nm人眼安全拉曼激光输出.在19.3 W的泵浦功率下,获得的最大的输出功率为1.76 W.相应的光-光转换效率为9.1%,此时拉曼光的脉冲宽度为30 ns,对应的峰值功率为11.7 k W.实验结果表明采取多段键合的方式可以有效的提高泵浦光的吸收效率从而提高光光转换效率而得到更好的拉曼输出功率.
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关键词
人眼安全激光
自拉曼
热效应
热键合技术
ND:YVO4晶体
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职称材料
高聚物芯片毛细管电泳——电化学检测系统的研究
4
作者
陈志锋
高云华
《感光科学与光化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期396-396,共1页
关键词
高聚物
芯片毛细管电泳
电化学检测系统
光刻
技术
化学刻蚀
技术
聚甲基丙烯酸甲酯电泳芯片
在线聚
合
技术
真空
热键合技术
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职称材料
题名
应用于微系统封装的激光局部加热键合技术
被引量:
12
1
作者
赖建军
陈西曲
周宏
刘胜
易新建
机构
华中科技大学微系统中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期257-260,共4页
基金
国家 8 63计划资助项目 (2 0 0 2AA40 40 70 )
文摘
阐述了利用激光与物质相互作用的热效应实现微系统器件的局部加热键合原理 ,提出了激光键合塑料芯片和激光辅助加热阳极键合的思想 ,建立了半导体激光键合实验装置 ,并实现了聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)
关键词
微系统封装
激光
热键合技术
微机电系统
聚甲基丙烯酸甲酯
Keywords
laser
locally heating
bonding
microsystem
分类号
TN405.94 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
热键合YAG/Nd:YAG复合晶体的透过光谱研究
被引量:
7
2
作者
孙敦陆
张庆礼
王召兵
苏静
谷长江
张霞
邵淑芳
王爱华
殷绍唐
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期229-232,共4页
基金
国家自然科学基金(No. 50472104)资助项目
文摘
本文在一定的温度和压力下,通过热键合技术,获得了YAG/Nd:YAG复合晶体。这种复合晶体在非吸收波段的光学透过率与通过一块相同厚度Nd:YAG晶体的光学透过率实验值以及理论值相一致。因此从透过率的角度,表明纯YAG晶体与Nd:YAG晶体间的键合区域为均匀过渡,基本上无散射界面存在,实现了一体化。
关键词
复
合
晶体
热键合技术
透过率
键
合
面
热处理
激光器
Keywords
composite crystal
thermal bonding
transmission
bonding interface
分类号
O734 [理学—晶体学]
下载PDF
职称材料
题名
基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的1.5μm人眼安全自拉曼激光器
3
作者
安珍妮
张倩倩
刘倩慧
李健
机构
山东师范大学物理与电子科学学院光学与光子器件技术重点实验室
出处
《山东师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2016年第4期93-96,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(61205174)
文摘
本文研究了基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的主动调Q人眼安全自拉曼激光器的激光输出特性.实验中,采用声光主动调Q、808 nm激光二极管端面泵浦的方式,成功获得1 525 nm人眼安全拉曼激光输出.在19.3 W的泵浦功率下,获得的最大的输出功率为1.76 W.相应的光-光转换效率为9.1%,此时拉曼光的脉冲宽度为30 ns,对应的峰值功率为11.7 k W.实验结果表明采取多段键合的方式可以有效的提高泵浦光的吸收效率从而提高光光转换效率而得到更好的拉曼输出功率.
关键词
人眼安全激光
自拉曼
热效应
热键合技术
ND:YVO4晶体
Keywords
eye-safe laser
self-Raman
thermal effect
boned crystal
Nd :YVO4
分类号
O157.5 [理学—基础数学]
下载PDF
职称材料
题名
高聚物芯片毛细管电泳——电化学检测系统的研究
4
作者
陈志锋
高云华
机构
中国科学院理化技术研究所
出处
《感光科学与光化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期396-396,共1页
关键词
高聚物
芯片毛细管电泳
电化学检测系统
光刻
技术
化学刻蚀
技术
聚甲基丙烯酸甲酯电泳芯片
在线聚
合
技术
真空
热键合技术
分类号
O658.9 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用于微系统封装的激光局部加热键合技术
赖建军
陈西曲
周宏
刘胜
易新建
《微纳电子技术》
CAS
2003
12
下载PDF
职称材料
2
热键合YAG/Nd:YAG复合晶体的透过光谱研究
孙敦陆
张庆礼
王召兵
苏静
谷长江
张霞
邵淑芳
王爱华
殷绍唐
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
下载PDF
职称材料
3
基于多段键合YVO_4/Nd:YVO_4/YVO_4晶体的1.5μm人眼安全自拉曼激光器
安珍妮
张倩倩
刘倩慧
李健
《山东师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2016
0
下载PDF
职称材料
4
高聚物芯片毛细管电泳——电化学检测系统的研究
陈志锋
高云华
《感光科学与光化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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