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题名热阴极辉光放电中的影响因素分析
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作者
郭忠清
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机构
鸡西矿业集团设备租赁公司
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出处
《黑龙江科技信息》
2004年第5期224-224,共1页
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文摘
热阴极辉光放电工作在大电流状态,具有向弧光放电转化的趋势。事实上,由辉光放电向弧光放电的转化,是人们获得弧光放电的常用方法之一。然而这个辉——弧转化趋势对辉光放电的稳定工作是不利的。为了抑制阴极上的拉弧现象,除了对阴极的材料和工作温度进行研究外,还需要对阴极的其它一些因素进行分析研究,实验表明,这些因素对于辉光放电的稳定起着同样重要的作用。
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关键词
热阴极辉光放电
影响因素
均匀性
实验
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分类号
O461.21
[理学—电子物理学]
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题名放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响
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作者
陈庆东
杨传径
毛爱霞
姜志刚
刘才龙
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机构
河南科技大学理学院
吉林大学超硬材料国家重点实验室
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出处
《河南大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2010年第3期248-251,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(40473034)
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文摘
利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜,生长速率达到20μm/h,生长厚度达到3mm.为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响.通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出,随着放电电压的增加,沉积速率呈下降趋势,电压在850~950V范围金刚石中石墨和非晶碳明显减少,晶粒均匀,表面晶向以(110)为主,金刚石薄膜的质量显著提高.
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关键词
直流热阴极辉光放电
金刚石厚膜
放电电压
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Keywords
cathode direct current glow discharge
diamond thick film
discharge voltage
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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