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热阴极辉光放电中的影响因素分析
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作者 郭忠清 《黑龙江科技信息》 2004年第5期224-224,共1页
热阴极辉光放电工作在大电流状态,具有向弧光放电转化的趋势。事实上,由辉光放电向弧光放电的转化,是人们获得弧光放电的常用方法之一。然而这个辉——弧转化趋势对辉光放电的稳定工作是不利的。为了抑制阴极上的拉弧现象,除了对阴... 热阴极辉光放电工作在大电流状态,具有向弧光放电转化的趋势。事实上,由辉光放电向弧光放电的转化,是人们获得弧光放电的常用方法之一。然而这个辉——弧转化趋势对辉光放电的稳定工作是不利的。为了抑制阴极上的拉弧现象,除了对阴极的材料和工作温度进行研究外,还需要对阴极的其它一些因素进行分析研究,实验表明,这些因素对于辉光放电的稳定起着同样重要的作用。 展开更多
关键词 热阴极辉光放电 影响因素 均匀性 实验
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放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响
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作者 陈庆东 杨传径 +2 位作者 毛爱霞 姜志刚 刘才龙 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第3期248-251,共4页
利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜,生长速率达到20μm/h,生长厚度达到3mm.为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响.通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出,随着放电电... 利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜,生长速率达到20μm/h,生长厚度达到3mm.为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响.通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出,随着放电电压的增加,沉积速率呈下降趋势,电压在850~950V范围金刚石中石墨和非晶碳明显减少,晶粒均匀,表面晶向以(110)为主,金刚石薄膜的质量显著提高. 展开更多
关键词 直流热阴极辉光放电 金刚石厚膜 放电电压
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