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特种气体(高纯烷类气体)
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《中国科技产业》 1995年第4期60-60,共1页
关键词 烷类气体 纯度 微电子技术 集成电路 非晶硅太阳能电池
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2019:中国气体 被引量:1
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作者 孙福楠 于大秋 《低温与特气》 CAS 2019年第6期1-5,共5页
回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。
关键词 电子气体 标准气体 烷类气体 乙硼 DCS 高纯氨气
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3米^3/时有毒气体解毒装置 被引量:1
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作者 俞云祺 《低温与特气》 CAS 1990年第3期49-52,共4页
介绍了烷类气体的解毒原理及装置流程。实践表明,该装置适合多种气体解毒处理,其解毒深度可达国家允许排放标准以下。
关键词 有毒气体 解毒装置 烷类气体
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烷类特种气体分析装置的研制及其应用
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作者 张春港 《中国石油和化工标准与质量》 2019年第17期179-180,共2页
烷类特种气体为集成电路生产中重要的原材料,提高其气体分析结果的可靠性对提高原料气的纯度,促进电子工业事业的发展具有重要的意义。多维气相色谱装置已成为层析法中一个很重要的独立分支,本文主要探讨了多维气相色谱法在烷类特种气... 烷类特种气体为集成电路生产中重要的原材料,提高其气体分析结果的可靠性对提高原料气的纯度,促进电子工业事业的发展具有重要的意义。多维气相色谱装置已成为层析法中一个很重要的独立分支,本文主要探讨了多维气相色谱法在烷类特种气体分析中装置设计要点及应用价值。 展开更多
关键词 气体分析 特种气体 多维气相色谱法 装置设计
原文传递
天然气泄漏被动式红外成像检测技术及系统性能评价研究进展 被引量:18
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作者 张旭 金伟其 +2 位作者 李力 王霞 秦超 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第S2期53-65,共13页
由于被动式气体红外成像检测技术具有检测效率高、直观可视和不需要激光照明等特点,成为石油天然气泄漏检测的重要手段。从红外成像检测石油天然气等烷类气体泄漏的原理出发,重点介绍了国内外具有代表性的红外探测器、气体泄漏红外成像... 由于被动式气体红外成像检测技术具有检测效率高、直观可视和不需要激光照明等特点,成为石油天然气泄漏检测的重要手段。从红外成像检测石油天然气等烷类气体泄漏的原理出发,重点介绍了国内外具有代表性的红外探测器、气体泄漏红外成像检测系统,分析了其技术特点和成像系统中的一些关键技术;归纳总结了气体探测系统性能评价技术的发展现状,对于气体检测技术应用和系统性能改善具有较大的参考作用。最后,分析了烷类气体泄漏红外成像检测技术发展的方向及存在的问题。 展开更多
关键词 天然气泄漏 烷类气体 IRFPA 红外成像 性能评价
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