备件国产化在瑞士ALPHASEM自动粘片机上的应用

以瑞士ALPHASEM自粘机为例,从5个方面讨论了如何利用国内现有资源及成熟技术,维护改造设备备件,实现了备件的国产化,提高了设备的运转效率,减少了维修时间,节约了维修费用。为实现半导体设备备件的国产化做了一些实质性的工作,也为某些半导体设备的国产化做了一定的基础工作。