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脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜
1
作者
王天生
田永君
+2 位作者
彭炜
胡文斐
李林
《理化检验(物理分册)》
CAS
2002年第11期485-488,共4页
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂...
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂相 ,且具有择优取向 ,而靶材中所含的Y2 BaCuO8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高 ,有利于 [0 0 1]取向 ,但不利于 [111]取向的Y2 O3形成。与传统的粉末烧结靶相比 ,用熔融织构靶制备YBa2 Cu3O7
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关键词
脉冲激光蒸发
熔融织构靶
制备
超导薄膜
YBA2CU3O7-Δ
Y2O3杂相
微观结构
表面形貌
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职称材料
题名
脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜
1
作者
王天生
田永君
彭炜
胡文斐
李林
机构
燕山大学材料科学与工程学院
中国科学院物理研究所国家超导实验室
中国科学院物理研究所国家超导实验室
出处
《理化检验(物理分册)》
CAS
2002年第11期485-488,共4页
基金
国家自然科学基金资助 (No .5 983 2 0 5 0 )
文摘
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(0 0 1)单晶基片上制备了YBa2 Cu3O7 δ超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明 ,薄膜呈c轴取向 ,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2 O3杂相 ,且具有择优取向 ,而靶材中所含的Y2 BaCuO8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高 ,有利于 [0 0 1]取向 ,但不利于 [111]取向的Y2 O3形成。与传统的粉末烧结靶相比 ,用熔融织构靶制备YBa2 Cu3O7
关键词
脉冲激光蒸发
熔融织构靶
制备
超导薄膜
YBA2CU3O7-Δ
Y2O3杂相
微观结构
表面形貌
Keywords
Pulsed laser deposition
YBa 2Cu 3O 7 δ superconducting films
Y 2O 3 inclusions
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜
王天生
田永君
彭炜
胡文斐
李林
《理化检验(物理分册)》
CAS
2002
0
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职称材料
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