碳化硅直接键合机理及其力学性能研究

随着碳化硅(Si C)材料的MEMS器件在恶劣环境测量中的应用前景和迫切需求,进行了碳化硅的直接键合实验。研究了工艺条件对键合样品力学性能的影响,同时借助激光共聚焦扫描显微镜(CLSM)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪等对碳化硅键合样品界面的微观结构进行了分析。结果表明:退火温度和加载压力是影响键合效果的关键性因素。当退火温度为1 300℃,加载压力为3 MPa和退火时间为3 h时,此时键合样品的气密性非常好,力学性能达到最佳,键合强度2 MPa。最后通过样品微观界面分析表明碳化硅直接键合的机理为界面氧化硅过渡层的形成及粘性流动与碳化硅和碳化硅的熔融直接键合。

圆片键合方法研究进展

本文将圆片键合的各种方法分为三类:无中介层键合、有中介层键合、低温键合。并对其优缺点及各种改进方法进行了分析,为圆片级键合的应用和设计提供了可靠思路。

珍珠明目滴眼液中冰片的含量测定

应用大孔键合熔融石英毛细管气相色谱法,测定珍珠明目滴眼液中冰片含量,FID检测器,柱温110℃,氮气流量30ml/min;内标法计算。结果平均加样回收率为98.87％,RSD为0.41％,规定限度不得低于0.02％。本法简洁快速,精密度、准确度较高,重现性好,可有效地控制本品的内在质量。

珍珠明目滴眼液中冰片含量测定方法的改进

目的 :改进珍珠明目滴眼液中冰片含量测定的方法。方法 :用大孔键合熔融石英毛细管气相色谱法代替原部颁标准法 ,FID检测器 ,柱温 1 1 0 o C,氮气流量 3 0 ml/ min;内标法计算。结果 :平均加样回收率 98. 87%, RSD0 . 41 %, n =6;规定限度不得低于 0 . 0 2 %, n =1 3。结论 :改进法具有简洁快速 ,精密度、准确度较高 ,重现性好的特点 ,可有效地控制珍珠明目滴眼液的质量。