基于MEMS流量传感器的智能燃气表

本文叙述了基于MEMS传感器智能燃气表的研制和测试,搭建原型表并作了高低温测试和小、中、大流量测试,结果表明研制的基于MEMS传感器的原型表可以满足家用燃气表的计量要求。对于MEMS传感器流量计量特性作了分析,认为气体组分识别和补偿以及芯片长期运行可靠性是其要进一步研究的问题。