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燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究 被引量:11
1
作者 黄树涛 张志军 +1 位作者 姚英学 袁哲俊 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期74-78,共5页
采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜。实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品... 采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜。实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽。 展开更多
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积
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燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究 被引量:6
2
作者 黄树涛 姚英学 +2 位作者 陈朔冬 张宏志 袁哲俊 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期89-93,共5页
研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态、燃烧气体流量比(O_2/CH_2)、基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明,在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同;燃烧气体流量配比对... 研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态、燃烧气体流量比(O_2/CH_2)、基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明,在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同;燃烧气体流量配比对金刚石薄膜的质量影响很大;基片温度是影响金刚石薄膜晶体形态的一个重要因素。 展开更多
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积
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燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的研究 被引量:2
3
作者 黄树涛 陈吉安 于骏一 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期102-102,106,共2页
研究了气体流量比 (O2 /C2 H2 )对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响 ,并以约 5 0 μm /h的较高速率沉积出了均匀。
关键词 燃焰法 金刚石厚膜 沉积
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燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究 被引量:1
4
作者 黄树涛 杜玉波 +1 位作者 姚英学 袁哲俊 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2000年第1期17-19,共3页
在分析研究燃焰法合成金刚石机理的基础上,研究了用燃焰法在刀具上沉积金刚石薄膜时的生长均匀性问题。提出了刀刃上金刚石的异常生长原因及抑制方法,获得了涂层均匀的金刚石薄膜涂层刀具。
关键词 金刚石 薄膜涂层刀具 燃焰法 均匀性 刀具
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燃焰法沉积金刚石薄膜的均匀性研究
5
作者 黄树涛 于骏一 +1 位作者 姚英学 袁哲俊 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第4期67-70,共4页
研究了燃焰法沉积金刚石薄膜的质量均匀性,指出反应气体流量比是影响金刚石薄膜质量均匀性的主要因素.基片表面沉积区径向温度梯度使金刚石薄膜晶粒尺寸随偏离沉积中心距离的增加而减小.
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 质量均匀性 基片 沉积区
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燃焰法生长高质量金刚石薄膜的研究 被引量:1
6
作者 陈仑 郑周 +1 位作者 张明 赵豪民 《磨料磨具与磨削》 1992年第2期2-6,共5页
本文介绍笔者等人用燃焰法在大气开放条件下合成金刚石薄膜的部分研究工作。通过研究O_2/C_2H_2配比和基板温度对析出的金刚石薄膜质量、结晶习性的影响,探讨了燃焰法生长高质量金刚石多晶薄膜及同质外延金刚石单晶膜的可能性。
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 合成
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燃焰法CVD金刚石厚膜制备工艺研究
7
作者 黄树涛 姚英学 +1 位作者 张宏志 袁哲俊 《沈阳工业学院学报》 1997年第1期34-38,共5页
用燃焰法进行了金刚石厚膜的沉积实验,制备了厚度约0.6mm的金刚石厚膜.用扫描电镜观察了金刚石厚膜的生长过程,研究了生长工艺.
关键词 金刚石厚膜 燃焰法 化学气相沉积 制备 生长
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燃焰法 CVD 金刚石薄膜生长过程的实验研究
8
作者 张宏志 黄树涛 姚英学 《沈阳工业学院学报》 1997年第2期82-86,共5页
采用燃焰法在硅基片表面进行了金刚石薄膜沉积实验.介绍了用金刚石微粉研磨基片表面对金刚石成核及生长的影响.根据不同沉积时间基片表面的扫描电子显微照片,分析了金刚石薄膜的生长过程,得出了金刚石薄膜的生长过程是以岛状生长模... 采用燃焰法在硅基片表面进行了金刚石薄膜沉积实验.介绍了用金刚石微粉研磨基片表面对金刚石成核及生长的影响.根据不同沉积时间基片表面的扫描电子显微照片,分析了金刚石薄膜的生长过程,得出了金刚石薄膜的生长过程是以岛状生长模式形成连续膜的结论. 展开更多
关键词 燃焰法 成核 金刚石薄膜 生长过程 CVD
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O_2-C_2H_2燃焰法沉积金刚石薄膜工艺研究
9
作者 陈哲 李雨葆 邵宁 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 1997年第3期209-215,共7页
本文通过扫描电镜(SEM)观察、拉曼光谱(Raman)分析研究了O_2-C_2H_2系燃焰法沉积金刚石薄膜的整体生长特征及气体配比与基底在火焰中所处位置对金刚石生长习性、沉积速率及合成质量的影响。
关键词 O2—C2H2 燃焰法 金刚石薄膜 生长特性
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燃焰法沉积金刚石薄膜的成核与生长
10
作者 黄树涛 姚英学 +2 位作者 张宏志 陈朔冬 袁哲俊 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期84-87,共4页
用扫描电镜研究了燃焰法沉积金刚石薄膜的成核与生长行为.分析了从成核至形成连续膜期间金刚石晶粒的生长特点.研究了沉积时间对金刚石薄膜晶体形态和表面形貌的影响。
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 成核 生长 沉积
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金刚石膜燃焰法沉积均匀性的影响因素
11
作者 华中杰 《磨料磨具通讯》 1996年第7期7-9,共3页
关键词 金刚石膜 合成 燃焰法 沉积 均匀性
原文传递
乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜 被引量:2
12
作者 张宏志 姚英学 陈朔冬 《新技术新工艺》 北大核心 2000年第4期40-41,共2页
通过实验分析了沉积温度、乙炔
关键词 金刚石厚膜 燃焰法 CVD 金刚石刀具
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基体温度对金刚石厚膜沉积质量的影响 被引量:3
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作者 黄树涛 刘兴文 +1 位作者 许立福 于骏一 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2003年第3期324-326,共3页
为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0 97~1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610~730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚... 为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0 97~1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610~730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚石厚膜沉积速率随基体温度的下降而下降,基体温度约为730℃时,可以约50μm/h的较高速率沉积出淡黄色透明状高质量金刚石厚膜.当基体温度在820℃左右的高温时,金刚石厚膜不均匀,晶粒间存在较大间隙,且在金刚石厚膜生长过程中,存在较多的二次成核. 展开更多
关键词 基体 温度 金刚石厚膜 沉积 质量 燃焰法 晶粒 CVD
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金刚石薄膜涂层刀具及其切削性能的实验研究 被引量:2
14
作者 黄树涛 姚英学 袁哲俊 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 1998年第5期17-19,共3页
用燃焰法进行了金刚石薄膜涂层刀具的沉积实验,研究了刀具基体材料对金刚石薄膜形成的影响,通过对SiC颗粒增强铝复合材料的切削实验,研究了以金属W为基体的金刚石薄膜涂层刀具的协创性能。
关键词 燃焰法 金刚石薄膜 涂层 刀具 复合材料 切削
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金刚石薄膜涂层刀具的破损机理研究
15
作者 黄树涛 许立福 +1 位作者 姚英学 袁哲俊 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期278-281,共4页
切削过程中金刚石薄膜从基体表面的破损剥落是金刚石薄膜涂层刀具的一种主要损坏形式。本文通过实验研究了金刚石薄膜涂层刀具的破损机理及刀具表面状态、切削用量对其损坏形式的影响。研究结果表明,较大的切削用量、机械冲击、交变切... 切削过程中金刚石薄膜从基体表面的破损剥落是金刚石薄膜涂层刀具的一种主要损坏形式。本文通过实验研究了金刚石薄膜涂层刀具的破损机理及刀具表面状态、切削用量对其损坏形式的影响。研究结果表明,较大的切削用量、机械冲击、交变切削载荷及积屑瘤频繁脱落等是导致金刚石薄膜涂层刀具破损剥落的主要原因。金刚石薄膜的破损剥落起始于薄膜与基体之间及薄膜底面金刚石晶粒之间的原始微小间隙缺陷,这些原始微小间隙缺陷是在沉积金刚石薄膜时,由于成核密度较低等原因而形成的。金刚石薄膜剥落时薄膜的断裂主要沿晶界发生。 展开更多
关键词 金刚石薄膜涂层刀具 切削性能 破损机理 导热性 几何角度 燃焰法
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Evaluation on Combustion Characteristics of Finishing Materials for Exterior Walls
16
作者 Oh-Sang Kweon Heung-Youl Kim Seung-Cho Yang 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2015年第8期465-471,共7页
Existing fire test methods reply on measurement of the energy released rate to identify the combustion properties of a material. However, they are inadequate when assessing combustion characteristics of a composite ma... Existing fire test methods reply on measurement of the energy released rate to identify the combustion properties of a material. However, they are inadequate when assessing combustion characteristics of a composite material characterized by vertical flame spread and different inside/outside combustion behaviors. In addition, major factors that affect the flame spread outside the building include the combustion characteristics of materials used as well as air flow around a skyscraper. However, since it is highly difficult to analyze and forecast the air flow from a fire engineering viewpoint, an investigation of the flame spread characteristics of exterior walls of a building depends primarily on the combustion characteristics of materials. Hence, this study examined, using ISO 13785-2 testing method, the temperature changes and vertical flame spread behaviors of one of the finishing materials for exterior walls--(generic & fire-resistant) aluminium panels by a real-scale combustion experiment. According to the results of real-scale experiment, the maximum heat temperature of 987.7 ℃ was recorded seven minutes after the fire test was initiated while the fire-resistant aluminium panels showed the maximum heat temperature of 850.2℃ after exposed for approximately 12 min. The vertical flame spread properties put more emphasis on the time required to reach the maximum temperature rather than its magnitude and there was a five minutes difference between the materials. 展开更多
关键词 Finishing material exterior wall real (full)-scale fire test vertical flame spread combustible.
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The constant-volume propagating spherical flame method for laminar flame speed measurement 被引量:6
17
作者 Mahdi Faghih 陈正 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第16期1296-1310,共15页
Laminar flame speed is one of the most important intrinsic properties of a combustible mixture. Due to its importance, different methods have been developed to measure the laminar flame speed. This paper reviews the c... Laminar flame speed is one of the most important intrinsic properties of a combustible mixture. Due to its importance, different methods have been developed to measure the laminar flame speed. This paper reviews the constant-volume propagating spherical flame method for laminar flame speed measurement. This method can be used to measure laminar flame speed at high pressures and temperatures which are close to engine-relevant conditions. First, the propagating spherical flame method is introduced and the constant-volume method (CVM) and constant- pressure method (CPM) are compared. Then, main groups using the constant-volume propagating spherical flame method are introduced and large discrepancies in laminar flame speeds measured by different groups for the same mixture are identified. The sources of discrepancies in laminar flame speed measured by CVM are discussed and special attention is devoted to the error encountered in data processing. Different correlations among burned mass fraction, pressure, temperature and flame speed, which are used by different researchers to obtain laminar flame speed, are summarized. The performance of these correlations are examined, based on which recommendations are given. Finally, recommendations for future studies on the con- stant-volume propagating spherical flame method for laminar flame speed measurement are presented. 展开更多
关键词 Laminar flame speed Propagatingspherical flame Constant-volume method Burnedmass fraction Methane/air
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