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题名单晶硅微构件力学特性片上测试系统
被引量:4
- 1
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作者
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
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机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
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出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期456-459,共4页
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基金
国家自然科学基金(50135040)
中国基础研究基金(2003CB716205)
清华大学基础研究基金(Jc2003013)资助~~
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文摘
设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。
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关键词
微电子机械系统
单晶硅
片上测试
静电梳状驱动器
疲劳
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Keywords
Micro-electro-mechanical system
Single-crystal silicon
On-chip testing
Electrostatic comb actuator
Fa-tigue
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分类号
TB302.3
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名MEMS片上绝缘性能测试高阻标准件研制
被引量:2
- 2
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作者
乔玉娥
刘岩
丁晨
翟玉卫
梁法国
郑世棋
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《中国测试》
北大核心
2017年第7期88-91,共4页
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文摘
针对MEMS圆片测试系统中绝缘性能测试的准确测量问题,利用Ga As半导体材料硼离子注入后的高绝缘特性,研究制作片上高值电阻标准件的方案,研制出一种基于Ga As衬底的由2个金属电极构成的1 GΩ片上高阻标准件。组建能有效溯源至国家最高标准的定标装置,使用与标准件探针压点坐标匹配的探针卡作为测试夹具,考核出年稳定性优于0.1%的在片标准件。经试验表明:该标准件携带方便、性能稳定,对开展MEMS片上绝缘性能测试提供有效的现场校准方案,有效解决其溯源问题。
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关键词
MEMS片上测试系统
绝缘性能
片上高阻标准件
标定
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Keywords
MEMS on-wafer test system
insulation performance
on-wafer high resistance standard
evaluation
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分类号
TN304.7
[电子电信—物理电子学]
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题名微构件材料力学性能测试方法
被引量:15
- 3
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作者
苏才钧
吴昊
郭占社
孟永钢
温诗铸
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机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
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出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2005年第3期441-447,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(50135040)
清华大学基础研究基金项目(JC2003013)
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文摘
随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题。微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷和位移测量等技术问题都是对微构件材料力学性能测试的很大挑战,很多传统的测试方法和装置已经不再适用了。近十几年,国内外学者发展了一些微构件材料力学性能的研究方法,来测量微构件的弹性模量、屈服强度、断裂强度、残余应力和疲劳强度等。本文从实验系统的集成度出发,将这些测试方法大致分为片外测试和片上测试两类。本文对单轴拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、微梁弯曲法和衬底曲率法等典型的片外测试方法和一些典型的片上测试方法进行了介绍,并比较了各自的优缺点。
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关键词
微构件
力学性能测试
MEMS
片上测试
片外测试
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Keywords
micro structures
mechanical testing
MEMS
out-chip testing
on-chip testing
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分类号
TB302.3
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展
被引量:6
- 4
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作者
张段芹
刘建秀
褚金奎
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机构
郑州轻工业学院机电工程学院
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第7期451-457,共7页
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基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB302101)
河南省国际科技合作项目(134300510019)
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文摘
低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性。然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术。最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题。
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关键词
低维纳米材料
力学性能
测试技术
片上测试
纳机电系统(NEMS)
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Keywords
low-dimensional nano-material
mechanical property
testing technique
on-chip tes-ting
nanoelectromechanical system (NEMS)
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分类号
TN304.07
[电子电信—物理电子学]
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题名新型可编程逻辑器件在航空电子系统上的应用
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作者
周霄球
沈燕
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机构
上海莱迪思半导体有限公司
中国航空无线电电子研究所
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出处
《集成电路应用》
2004年第2期76-80,共5页
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文摘
本文介绍了新型可编程逻辑器件的一些结构特性。分析了在实现新一代综合航空电子系统时,这些结构特性的具体应用及其所具有的优势。
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关键词
航空电子系统
可编程逻辑器件
结构特性
专用集成电路
数据总线
片上测试
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分类号
V243
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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