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新型片状磷平面扩散源的应用研究
1
作者
王彩琳
赵万里
刘永祥
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期297-301,共5页
分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并...
分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并通过实际产品的电学参数测量结果验证了工艺方案的可行性,可供新型片状磷PDS在大直径硅扩散工艺中的推广使用参考。
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关键词
扩散
片状固态源
磷
均匀性
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职称材料
题名
新型片状磷平面扩散源的应用研究
1
作者
王彩琳
赵万里
刘永祥
机构
西安理工大学电子工程系
无锡华润华晶微电子有限公司
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期297-301,共5页
基金
陕西省自然科学基金资助项目(项目编号:2007E208)
文摘
分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并通过实际产品的电学参数测量结果验证了工艺方案的可行性,可供新型片状磷PDS在大直径硅扩散工艺中的推广使用参考。
关键词
扩散
片状固态源
磷
均匀性
Keywords
diffusion
sheet solid source
phosphor
uniformity
分类号
TN305.4 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型片状磷平面扩散源的应用研究
王彩琳
赵万里
刘永祥
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009
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