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带内孔平面多边形的并算法 被引量:3
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作者 陈建辉 薛虹 《微细加工技术》 2002年第3期28-32,39,共6页
电子束曝光机版图切割过程中可能出现带内孔的多边形 ,并且多边形内环与外环之间可能发生重叠。针对这种多边形 ,提出了新的基于矢量边的重复交点处理方法 。
关键词 带内孔 多边形 并运算 版图切割 电子束曝光机
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