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一种平面区域的剖分
被引量:
1
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作者
王绍钧
《微细加工技术》
1994年第2期9-15,共7页
本文提出一种图形剖分算法,可将任意条折线围成的平面区域,划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是LSI掩模版加工设备可加工的。由此,LSI掩模版图的设计,可避免受到加工设备的限制,使图样不论如何复杂,可以根据电路需...
本文提出一种图形剖分算法,可将任意条折线围成的平面区域,划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是LSI掩模版加工设备可加工的。由此,LSI掩模版图的设计,可避免受到加工设备的限制,使图样不论如何复杂,可以根据电路需要进行设计,从而保证电路性能。
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关键词
集成电路
版图图样
设计
平面区域
下载PDF
职称材料
题名
一种平面区域的剖分
被引量:
1
1
作者
王绍钧
机构
山东工业大学自动化工程系
出处
《微细加工技术》
1994年第2期9-15,共7页
文摘
本文提出一种图形剖分算法,可将任意条折线围成的平面区域,划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是LSI掩模版加工设备可加工的。由此,LSI掩模版图的设计,可避免受到加工设备的限制,使图样不论如何复杂,可以根据电路需要进行设计,从而保证电路性能。
关键词
集成电路
版图图样
设计
平面区域
Keywords
algorithm analysis
large scale integrated circuit(LSI)
eiectronic beam exposure
microfabrication technology
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种平面区域的剖分
王绍钧
《微细加工技术》
1994
1
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职称材料
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