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一种复杂图形的处理和扫描技术
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作者 刘伯强 《微细加工技术》 2000年第2期24-27,7,共5页
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术 ,提出在一个大场中 ,分割成若干小场的扫描实用算法 。
关键词 矢量扫描 微机控制 版图图案 扫描技术 集成电路
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