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一种复杂图形的处理和扫描技术
1
作者
刘伯强
《微细加工技术》
2000年第2期24-27,7,共5页
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术 ,提出在一个大场中 ,分割成若干小场的扫描实用算法 。
关键词
矢量扫描
微机控制
版图图案
扫描技术
集成电路
下载PDF
职称材料
题名
一种复杂图形的处理和扫描技术
1
作者
刘伯强
机构
山东工业大学自动化系
出处
《微细加工技术》
2000年第2期24-27,7,共5页
文摘
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术 ,提出在一个大场中 ,分割成若干小场的扫描实用算法 。
关键词
矢量扫描
微机控制
版图图案
扫描技术
集成电路
Keywords
algroithm processing
microfabrication
vector scanning
microcomputer control
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
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1
一种复杂图形的处理和扫描技术
刘伯强
《微细加工技术》
2000
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