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题名端部离子源提升SiC器件金属膜层结合牢固度的研究
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作者
张春胜
葛荣祥
钱志成
申强
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机构
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第4期31-34,共4页
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文摘
介绍了端部离子源的工作原理,分析了SiC功率器件金属膜层脱落的原因,针对SiC器件金属膜层脱落问题,提出了一种表征金属膜层结合牢固度的方法。采用端部离子源对金属膜层进行碳清除实验,发现当SiO2介质清铣厚度超过10 nm时,金属膜层结合牢固度可靠,可满足工艺需求。
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关键词
端部离子源
金属膜层结合牢固度
碳清除
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Keywords
End hall ion source
Cohesive fastness of metal film
Carbon removal
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分类号
TN305.8
[电子电信—物理电子学]
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题名普通玻璃制作茶色玻璃
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作者
倪正康
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出处
《科技信息》
1997年第4期17-17,共1页
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文摘
茶色玻璃是一种很受欢迎的装饰材料,但价格较贵。现介绍一种方法,能使普通玻璃镀上一层茶色透明膜,并有与茶色玻璃相似的性能。这种方法属化学浸镀法,能使膜分子与基板化学键牢固结合,所以刮不掉,而且使用设备简单,操作容易。 ①配制镀液:取硝酸铁9.1克,四水醋酸锰7.2克,硅酸乙脂18毫升,乙醇(即酒精)75毫升。
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关键词
茶色玻璃
普通玻璃
装饰材料
化学浸镀
硅酸乙脂
醋酸锰
烘烤温度控制
化学键
牢固结合
膜分子
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分类号
TQ171
[化学工程—玻璃工业]
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题名俄研制出鸡新城疫新型冻干活苗
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作者
谢敏康
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出处
《畜牧兽医科技信息》
2000年第5期14-15,共2页
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文摘
等人研制了鸡新城疫新型冻干活疫苗,口服免疫获得了较好的效果。该法的实质是使疫苗中的生物活性成分和佐剂中的水分重新分布,以便剩余水分与生物活性成分牢固结合。
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关键词
鸡新城疫
生物活性成分
冻干活疫苗
口服免疫试验
稳定剂
免疫剂量
新分布
剩余水分
蛋白质类
牢固结合
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分类号
S859.79
[农业科学—临床兽医学]
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