傅里叶变换轮廓术中物体高度最佳恢复条件

在分析傅里叶变换轮廓术中传统的高度与相位关系的基础上,推出了高度与相位的普通关系式,提出了物体高度最佳恢复条件的新理论,给出了简单的物理解释.由此得出结论:物体高度最佳恢复时的几何参量α(双瞳连线与参考面夹角)大小与系统几何结构参量a、b有关.计算机仿真验证了:当a=600mm、b=3000mm时,可得物体高度最佳恢复时的α=arcsin(1/5),此时所得的标准差为0.2697;作为对比:当α=0时,所得的标准差为0.2956.实验验证了:α=arcsin(1/5)时的恢复效果比α=0时的恢复效果更好些.