基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数

基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构。建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数。分析表明,利用相互正交的MEMS风速传感器测量风向是可行的,并且具有多个通风孔结构的传感器可以有更高的精度。

用于薄液膜检测的同轴环盘电导传感器优化设计

液膜厚度是研究环状流液膜演化发展的重要参数,基于环状流薄液膜厚度范围,设计了基于电导法的非侵入式同轴环盘液膜测量传感器。通过有限元分析,对同轴环盘液膜测量传感器电极结构参数进行了优化设计,确定了传感器结构参数最优选择。实验表明:传感器在50μm^200μm的液膜厚度范围内具有很高的灵敏度,液膜厚度的测量误差在±3.7%以内。

智能传感器的开发课题

1.前言目前,无论在家庭设施、工厂办公室的智能化,还是在健康保护、灾害预防以及环境保护等软、硬两个方面,都希望能创建一个更加方便,更加有效、更加舒适的社会。为了早日实现这种高度发达的社会,必须开发多种智能传感器系统。但是,仅仅给高性能计算机配上许多传感器,并不能实现充分的智能化检测。要完成象人们的感觉器官那样将周围环境中获取的各种信息加以选择,迅速处理并正确地传递给大脑这一分散功能,需要更小型的高效的智能测量系统。也就是说。

基于SAW原理汽车转向扭矩测量的研究

针对市场上已有的电动助力转向EPS(Electric Steering System)扭矩测量装置存在的易受噪声干扰、寿命较短、构造复杂且供电困难等缺点[1],提出基于声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)原理对转向扭矩进行测量的方案,能够进一步实现EPS系统扭矩测量装置的轻型化和数字化。基于COMSOL软件强大的物理分析功能,对测量方案中关键的主轴和压电基片进行理论和仿真研究,并且基于Matlab软件对仿真结果进行统计和分析,验证了该方案的可实施性。

微电机械系统(MEMS)在传感技术上的应用介绍

1人类的感官人通过感觉器官来感知自然界的多姿与多彩,而人的感觉器官常常被等同于五官。人的感觉器官主要是眼、耳、鼻、舌、皮肤等5种,但与人们常说的眼、耳、鼻、口、舌这五官还是有区别的。这五种感知器官主要感知的是光、机械、热等物理量,当然鼻和舌兼具感知化学量(如酸等)的功能。