氧化钨薄膜电致变色状态下物相组份及表面形貌变化的研究

通过对直流磁控溅射方法得到ＷＯｘ膜层的电化学和光学性能测试，以及ＸＲＤ和ＳＴＭ的物相、形貌分析，发现该ＷＯｘ膜层具有良好的电致变色性能，原始沉积态ＷＯｘ膜层为非晶态，其着退色状态仍为非晶特性，而晶态ＷＯｘ膜层在着色态和退色态之间发生物相组份的可逆变化，且表面形貌有很大差异。