特大型硅晶生长用坩埚的工业试验研制

特大型硅晶坩埚是电磁感应硅晶冶炼领域的前沿技术产品,受工业设备及技术条件的制约,其研发试制难度极大。本文采用常规振动成型等工业设备试制了Φ1400/Φ1160mm×2300mm特大型硅晶坩埚,从关键设备的合理改造、原材料的精选、生产流程及工艺技术、参数优化等方面加以科学控制,对特大型硅晶坩埚的试验研制进行了探索,成功研制出符合客户使用质量性能要求的坩埚,并就其质量特性进行了初步的分析和讨论。