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多自由度误差同时测量中的滚转角测量方法 被引量:15
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作者 曹睿 张斌 +2 位作者 冯其波 方恒楚 由凤玲 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2344-2348,共5页
提出了一种滚转角误差测量的新方法,该测量方法能够实现与其他自由度误差测量相集成,构成多自由度同时测量系统。系统采用带温控的半导体激光器单模光纤组件作为光源,有效降低了激光器本身的光线漂移,为测量提供高精度高稳定性的基准光... 提出了一种滚转角误差测量的新方法,该测量方法能够实现与其他自由度误差测量相集成,构成多自由度同时测量系统。系统采用带温控的半导体激光器单模光纤组件作为光源,有效降低了激光器本身的光线漂移,为测量提供高精度高稳定性的基准光线;采用特殊棱镜作为测量的敏感单元,通过此棱镜出射光线的直线度测量,间接实现滚转角误差测量。实验过程和数据表明,测量系统具有很好的稳定性和重复性,通过与电子水平仪的对比实验,验证了该方法的可行性,测量精度约为2″。 展开更多
关键词 光学测量 滚转角误差 直线度误差 特殊棱镜 五自由度误差
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