基于ALOHA的面板企业干法刻蚀工艺特气泄漏事故模拟研究

面板企业在制程过程中使用的特种气体泄漏后极有可能发生火灾、爆炸、中毒等严重事故,尤其是洁净厂房环境复杂,易发生二次灾害,为应急处置和救援带来很大困难.文章以国内某面板企业干法刻蚀工艺为例,采用ALOHA软件对其特气管道可能的泄漏事故后果进行模拟分析,定量得出了事故后果的危害范围.结合企业现状,从预防事故可能性及控制后果的严重程度两个方面,提出风险控制措施.