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我国特种气体产业的发展
被引量:
2
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作者
梁国仑
《低温与特气》
CAS
1998年第4期1-8,共8页
回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
关键词
电子
气体
标准
气体
中国
特种气体产业
下载PDF
职称材料
题名
我国特种气体产业的发展
被引量:
2
1
作者
梁国仑
机构
化工部光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
1998年第4期1-8,共8页
文摘
回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
关键词
电子
气体
标准
气体
中国
特种气体产业
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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作者
出处
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1
我国特种气体产业的发展
梁国仑
《低温与特气》
CAS
1998
2
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