国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况

综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术，一体化供气系统，超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术，电子材种气体市场以及ＩＳＯ９０００系列认证。

紧急停车系统在电子特种气体生产装置中的应用

根据紧急停车(ESD)系统的独立性和安全性的技术要求,结合某电子特种气体生产的特点,对高纯甲基硅烷的精馏装置的ESD系统进行了硬件配置及完善的逻辑设计。实际运行结果表明,不管是生产装置故障,还是系统本身故障,都能迅速响应,使生产装置达到设计的安全停车工况,满足了装置系统的独立性和SIL3安全综合等级要求,提高了系统的可靠性和稳定性,保障了装置生产的安全稳定。

电子信息基础产品用电子化工材料(摘选)

电子化学品的特点之一是品种繁多，我国能工业化生产或能提供批量生产的产品品种有近1000种，现对其中的主要产品尤其是重点产品的情况分别介绍如下。

NF3与CF4分离纯化技术路线研究进展

在NF_(3)的工业化生产中,会与原料氟气(F_(2))一起引入不纯物质四氟甲烷(CF_(4)),严重影响了NF_(3)的品质。需要开发出具有经济效益成本的NF_(3)和CF_(4)分离纯化技术方法。CF_(4)和NF_(3)这两种气体具有非常相似的物理特性,很难通过传统的技术进行分离。因此,总结了NF_(3)中CF_(4)杂质的分离纯化技术研究进展,从纯度、效率、成本和安全等角度对比分析了包括低温精馏、吸附、膜分离、萃取精馏和吸收在内的5种纯化技术路线的优势和不足。低温精馏通常需要在-100~-192℃的低温下操作,而膜技术和使用沸石和分子筛的吸附技术过程在能耗、维护成本、连续化和处理能力等方面受到分离材料性能的显著限制。在此基础上,提出了克服当前工业挑战的潜在的分离纯化方法。指出基于吸收和萃取精馏的方法适用于从NF_(3)中纯化CF_(4)杂质的最佳的工艺技术路线。

ICP-MS检测六氟丁二烯中的31种金属元素

电子气体中的杂质对半导体元件的质量极大影响。为更好地分析新型电子蚀刻气——六氟丁二烯中的杂质,建立了一种基于电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析方法,针对气相六氟丁二烯中的金属杂质进行分析方法的改进研究。对仪器工作条件进行了优化,并对取样方法进行了改进,减少了六氟丁二烯易液化带来的干扰。结果显示,所有金属元素线性相关系数(R2)均大于0.99,检测限均小于0.2×10^(-9),相对标准偏差(RSD)均小于5%,空白加标回收率在80%~120%范围内,多次取样后检测结果基本一致。

Safe Delivery Resource(SDS)技术进展

Safe Delivery Resource(SDS)是针对大规模集成电路制造工艺所用砷烷、磷烷、乙硼烷、三氟化硼等电子特种气体而开发的一种微负压储运和应用技术。SDS技术的出现克服了传统高压存储电子特种气体存在泄漏风险的难题。SDS技术所用吸附剂从微孔沸石分子筛到球形树脂基活性炭再到单块碳,每一次吸附材料的转变都显著提升单位体积气体介质的存储容量。目前,第四代SDS技术电子特种气体容量在满足长时间、高通量应用的同时进一步完善了其安全性。

凯美特气拟建电子特种气体项目

9月5日,凯美特气公司拟设立湖南凯美特气体股份有限公司电子特种气体分公司(以工商部门实际核准为准)。公告称,项目总投资为30975万元,建设期为三年。生产达到预估销售量时,年均销售收入预估为14395万元(含税),年均利润总额7390万元。

制冷剂生产渗透蒸发膜滤芯外壳裂纹分析及对策

针对渗透蒸发膜滤芯外壳在某制冷剂装置生产中出现裂纹这一问题,进行SolidWorks的力学分析和ABS塑料溶胀性能分析。结果表明,排除了系统内的压力工况使膜芯产生裂纹的可能,而实际原因是ABS塑料发生了溶胀现象。将膜芯的膜壳材质由ABS塑料改为铝合金,取消原膜分的金属外壳。实施后,预计每年多产产品480 t,节约成本约1965万元,同时极大减少了中间产物的浪费,进一步提高了产品转换率。

自吸式电化学检测仪的研制与应用

为了满足半导体行业制造过程中对NH_(3)、HCl、C_(8)H_(20)O_(4)Si、SiH_(4)等电子特种气体泄漏检测的需要,设计了一种基于电化学传感器的固定式气体检测仪。从硬件与软件两个方面详细描述了该仪器的功能和特点。在半导体车间对仪器进行了SiH_(4)、NH_(3)、C_(8)H_(20)O_(4)Si标气检测,结果显示SiH_(4)传感器示值误差小于1%,重复性标准偏差小于1%;C_(8)H_(20)O_(4)Si示值误差小于1%,重复性标准偏差小于1%;NH_(3)示值误差小于1.5%,重复性标准偏差小于1%。表明该检测仪具有较高的检测准确性和优秀的现场应用能力,能够满足对电子特种气体的检测需求,可在半导体行业推广。

未来几年电子化学品市场发展空间巨大

简述了电子化学品的行业概况和特点,介绍了2010年国外电子化学品的市场状况和2010年中国的电子化学品市场状况。

强劲增长——2018年国内上市气体公司业绩报告出炉

随着国内电子、光伏、新型煤化工、新能源、航空航天、环保、医疗保健等新兴产业的快速发展,我国工业气体市场迎来了新时代,同时也带动了企业营收、利润的大幅增长全面实施'中国制造2025'的强国战略,我国经济在经历过去十年的强劲增长后,逐步进入转型和整合阶段。随之而来的是我国工业的稳步发展,作为工业的基础元素。