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基于PVDF薄膜的流场动态压力检测方法的研究
被引量:
1
1
作者
阮晓东
巴静
+2 位作者
陈晖
陈文昱
傅新
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第7期51-53,56,共4页
针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有...
针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有面积小、厚度薄、柔韧性好的特点,非常适合于狭小流场空间壁面压力分布的测量。试验研究表明:该方法特别适用于检测流场微小的压力波动,线性度误差为±2.3%,输出灵敏度为1.32mV/Pa。
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关键词
狭小流场
聚偏氟乙烯薄膜
动态压力
光刻工艺
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职称材料
题名
基于PVDF薄膜的流场动态压力检测方法的研究
被引量:
1
1
作者
阮晓东
巴静
陈晖
陈文昱
傅新
机构
浙江大学流体传动及控制国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第7期51-53,56,共4页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2009QNA4001)
国家科技部国际合作项目(2008DFR70410)
+1 种基金
浙江省自然科学基金资助项目(D1080038
R105008)
文摘
针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有面积小、厚度薄、柔韧性好的特点,非常适合于狭小流场空间壁面压力分布的测量。试验研究表明:该方法特别适用于检测流场微小的压力波动,线性度误差为±2.3%,输出灵敏度为1.32mV/Pa。
关键词
狭小流场
聚偏氟乙烯薄膜
动态压力
光刻工艺
Keywords
narrow flow field
PVDF film
dynamic pressure
lithographic process
分类号
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PVDF薄膜的流场动态压力检测方法的研究
阮晓东
巴静
陈晖
陈文昱
傅新
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
1
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职称材料
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