一种基于微型谐振腔的环形光探测器的设计

提出了一种基于微型谐振腔的新型环形光探测器,该探测器结构紧凑,较之RCE型光探测器具有高速、高量子效率、易于平面集成等优点.导出了该探测器的量子效率的表达式,分析了环形光探测器半径对光谱的半高全宽(FWHM)的影响;分析了吸收腔厚度、环形光探测器宽度及半径对响应带宽的影响.结果表明,谐振腔的半径越大,FWHM越小,量子效率的峰值间隔越小;吸收腔的半径和波导宽度越大,响应带宽越小.