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用钛吸气和壁碳化改善SWIP-RFP装置的等离子体性能
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作者 洪文玉 张年满 +4 位作者 张鹏 李洁萍 罗俊林 罗草文 李强 《真空》 CAS 北大核心 1995年第1期25-28,共4页
用钛吸气方法制备清洁表面净化环形反场箍缩(SWIP-RFP)装置内真空室以及原位壁碳化改善SWIP-RFP装置器壁状态,减少了该装置等离子体中的杂质水平,提高了等离子体性能。
关键词 钛吸气 壁碳化 环形反场箍缩 装置 等离子体
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