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基于环形肖特基二极管的MEMS陀螺仪接口ASIC电路温度特性分析与设计
被引量:
3
1
作者
沈广冲
鲁文高
+3 位作者
刘明星
李小亮
张雅聪
陈中建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期299-303,共5页
完成了采用环形二极管结构的MEMS陀螺仪接口ASIC电路设计并且理论分析了环形肖特基二极管的温度特性对电路输出的影响。MEMS陀螺仪系统采用高频载波调制方案,在陀螺仪可动质量块施加1MHz载波,将陀螺仪振动信号调制到载波附近。环形肖特...
完成了采用环形二极管结构的MEMS陀螺仪接口ASIC电路设计并且理论分析了环形肖特基二极管的温度特性对电路输出的影响。MEMS陀螺仪系统采用高频载波调制方案,在陀螺仪可动质量块施加1MHz载波,将陀螺仪振动信号调制到载波附近。环形肖特基二极管作为调制解调器,解调陀螺仪输出已调信号得到陀螺仪振动信号。这种方案可以有效放大陀螺仪输出信号。理论和仿真结果表明,肖特基二极管阈值电压随温度的变化会改变电路增益,引入一个正温度系数。采用负温度系数反馈电阻,从而降低电路总的温度系数。ASIC电路基于0.18μm CMOS工艺实现。
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关键词
MEMS陀螺仪
环形肖特基二极管
温度特性
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职称材料
题名
基于环形肖特基二极管的MEMS陀螺仪接口ASIC电路温度特性分析与设计
被引量:
3
1
作者
沈广冲
鲁文高
刘明星
李小亮
张雅聪
陈中建
机构
北京大学深圳研究生院
北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期299-303,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11305006)
文摘
完成了采用环形二极管结构的MEMS陀螺仪接口ASIC电路设计并且理论分析了环形肖特基二极管的温度特性对电路输出的影响。MEMS陀螺仪系统采用高频载波调制方案,在陀螺仪可动质量块施加1MHz载波,将陀螺仪振动信号调制到载波附近。环形肖特基二极管作为调制解调器,解调陀螺仪输出已调信号得到陀螺仪振动信号。这种方案可以有效放大陀螺仪输出信号。理论和仿真结果表明,肖特基二极管阈值电压随温度的变化会改变电路增益,引入一个正温度系数。采用负温度系数反馈电阻,从而降低电路总的温度系数。ASIC电路基于0.18μm CMOS工艺实现。
关键词
MEMS陀螺仪
环形肖特基二极管
温度特性
Keywords
ASIC
ASIC
MEMS gyroscope
ring Schottky diode
temperature characteristic
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于环形肖特基二极管的MEMS陀螺仪接口ASIC电路温度特性分析与设计
沈广冲
鲁文高
刘明星
李小亮
张雅聪
陈中建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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