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氮气流量对磁过滤沉积AlN纳米薄膜显微组织与性能的影响
被引量:
1
1
作者
庞盼
陈琳
+3 位作者
谢文玲
罗军
廖斌
欧伊翔
《湘潭大学学报(自然科学版)》
CAS
2020年第4期20-28,共9页
AlN薄膜具有优良的绝缘性能和力学性能,被广泛应用于微电子领域的绝缘耐压涂层.采用离子注入结合磁过滤等离子体沉积技术,氮气流量为30~90 sccm,在304不锈钢和环氧玻璃纤维板上制备硬质AlN纳米涂层.采用XPS、AFM、XRD和SEM分析AlN纳米...
AlN薄膜具有优良的绝缘性能和力学性能,被广泛应用于微电子领域的绝缘耐压涂层.采用离子注入结合磁过滤等离子体沉积技术,氮气流量为30~90 sccm,在304不锈钢和环氧玻璃纤维板上制备硬质AlN纳米涂层.采用XPS、AFM、XRD和SEM分析AlN纳米涂层的成分、表面形貌及结构.采用纳米硬度计、介电谱仪以及兆欧级电阻表研究涂层的力学和电学性能.结果表明,制备的AlN纳米薄膜结构致密、表面光滑.随氮气流量的增加,薄膜由强(100)择优取向转变为(100)、(002)和(102)任意取向生长.AlN纳米薄膜的纳米硬度、H/E*、H3/E*2先增加后减小,而电导率逐渐下降,阻抗逐渐增加.氮气流量为60 sccm时,AlN纳米涂层具有优良的力学性能和电学性能.
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关键词
氮化铝薄膜
离子注入
磁过滤沉积
环氧玻璃纤维板
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职称材料
题名
氮气流量对磁过滤沉积AlN纳米薄膜显微组织与性能的影响
被引量:
1
1
作者
庞盼
陈琳
谢文玲
罗军
廖斌
欧伊翔
机构
北京市辐射中心
北京师范大学核科学与技术学院
出处
《湘潭大学学报(自然科学版)》
CAS
2020年第4期20-28,共9页
基金
北京市科学技术研究院萌芽计划项目(GS201829)。
文摘
AlN薄膜具有优良的绝缘性能和力学性能,被广泛应用于微电子领域的绝缘耐压涂层.采用离子注入结合磁过滤等离子体沉积技术,氮气流量为30~90 sccm,在304不锈钢和环氧玻璃纤维板上制备硬质AlN纳米涂层.采用XPS、AFM、XRD和SEM分析AlN纳米涂层的成分、表面形貌及结构.采用纳米硬度计、介电谱仪以及兆欧级电阻表研究涂层的力学和电学性能.结果表明,制备的AlN纳米薄膜结构致密、表面光滑.随氮气流量的增加,薄膜由强(100)择优取向转变为(100)、(002)和(102)任意取向生长.AlN纳米薄膜的纳米硬度、H/E*、H3/E*2先增加后减小,而电导率逐渐下降,阻抗逐渐增加.氮气流量为60 sccm时,AlN纳米涂层具有优良的力学性能和电学性能.
关键词
氮化铝薄膜
离子注入
磁过滤沉积
环氧玻璃纤维板
Keywords
AlN film
ion implantation
filtered magnetic deposition
epoxy fiber glass board
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮气流量对磁过滤沉积AlN纳米薄膜显微组织与性能的影响
庞盼
陈琳
谢文玲
罗军
廖斌
欧伊翔
《湘潭大学学报(自然科学版)》
CAS
2020
1
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职称材料
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