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带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合 被引量:3
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作者 林智鑫 王盛贵 +2 位作者 刘琦 曾毅波 郭航 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第8期63-66,70,共5页
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,... 为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200 V,压力为450 Pa,可获得键合面积大于90%的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构。 展开更多
关键词 阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合
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Assessment of nanocomposite photonic systems with the X-ray photoelectron spectroscopy
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作者 L. Minati G. Speranza +3 位作者 M. Anderle M. Ferrari A. Chiasera G. C. Righini 《Optoelectronics Letters》 EI 2007年第3期192-194,共3页
The chemical compositions of Ag-Er co-doped phosphate and silicate glasses were investigated with X-ray photoelectron spectroscopy with the purpose to identify the chemical state of silver. The analysis of the Ag 3d c... The chemical compositions of Ag-Er co-doped phosphate and silicate glasses were investigated with X-ray photoelectron spectroscopy with the purpose to identify the chemical state of silver. The analysis of the Ag 3d core lines show the presence of nanometer-sized silver particles in each of the annealed samples,even if these Ag 3d lines appear to be very different from each other. We explain these results as a different interaction of silver with the two glasses matrix,which leads to a different nucleation rate of the Ag clusters. 展开更多
关键词 纳米复合光子系统 评价 X线光电子光谱学 磷酸盐玻璃 酸盐玻璃 Ag-Er共掺杂
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一种大过载MEMS加速度计新型封装方法 被引量:2
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作者 焦新泉 陈家斌 +1 位作者 尹静源 孟丁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期536-539,共4页
传统的MEMS系统级封装多采用IC标准的封装形式,例如塑料封装形式、陶瓷管壳封装形式、TO系列金属管壳封装。由于大过载传感器需要工作环境冲击振动比较高,陶瓷管壳容易破碎;塑封采用热塑成型,封装后残余应力大;TO系列管壳体积较大,并且... 传统的MEMS系统级封装多采用IC标准的封装形式,例如塑料封装形式、陶瓷管壳封装形式、TO系列金属管壳封装。由于大过载传感器需要工作环境冲击振动比较高,陶瓷管壳容易破碎;塑封采用热塑成型,封装后残余应力大;TO系列管壳体积较大,并且采用直插形式安装,在超过5×103g冲击下,管脚容易折断。针对这种情况,本文提出了一种新型MEMS加速度计封装方法,在圆片级采用玻璃-硅-玻璃三层结构,并采用铝金属壳体螺钉安装并在壳体内部双组分环氧树脂灌封。封装之后的大过载加速度计具有体积小,密封性强,残余应力小、抗强冲击、稳定性好、适应于小批量生产等优点。 展开更多
关键词 MEMS 加速度计 封装 玻璃-硅-玻璃结构
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确认姿态的双向微型加速度计
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作者 侯美丽 杨建辉 第五兴乐 《中国测试技术》 2003年第5期36-36,29,共2页
本文介绍一种微型的确认姿态的双向加速度计,这种微型的确认姿态的双向加速度计是一种玻璃-硅-玻璃结构。实验证明了这种传感器的有效性和实用性。
关键词 微型加速度计 玻璃-硅-玻璃结构 微型加速度计 传感器 姿态
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城市废玻璃作为水泥基材料在化学激发胶凝材料中的潜在应用(英文) 被引量:2
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作者 J Ivan ESCALANTE-GARCIA 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1441-1448,共8页
世界城市地区的人口不断增加,按此趋势发展,到2025年世界城市人口将达到43亿。与此同时,城市生活垃圾也逐渐增加,到2025年,将从现在的13亿吨增加到22亿吨。在这些垃圾中,玻璃占5%,而且只有不到30%可循环利用,这意味着4 600万吨是填埋处... 世界城市地区的人口不断增加,按此趋势发展,到2025年世界城市人口将达到43亿。与此同时,城市生活垃圾也逐渐增加,到2025年,将从现在的13亿吨增加到22亿吨。在这些垃圾中,玻璃占5%,而且只有不到30%可循环利用,这意味着4 600万吨是填埋处理的。到2025年大约7 700万吨废弃玻璃需要进行填埋处理。尽管玻璃可以回收利用,但由于各方面原因使得玻璃的回收利用非常复杂,其中之一是因为需对玻璃进行颜色分类处理。目前,废玻璃已经用于替代部分硅酸盐水泥和骨料,但存在碱骨料反应的风险。废玻璃作为化学激发胶凝材料具有很大的潜力。但是关于该方面的研究很少,主要问题是将废玻璃作为碱激发胶凝材料使用时,其部分水化产物易溶于水。使用碱性激发剂激活其他含钙胶凝材料,如碳酸盐、矿粉等复合胶凝材料是可行的,且可得到性能优异的净浆和混凝土。讨论不同废玻璃水化反应产物的组成和结构,分析将废玻璃作为胶凝材料再利用在玻璃循环利用方面的可行性和优势。 展开更多
关键词 --玻璃:废玻璃 碱激发胶凝材料 替代胶凝材料
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Microstructure and microwave dielectric properties of lead borosilicate glass ceramics with Al_2O_3 被引量:4
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作者 韦鹏飞 周洪庆 +2 位作者 王杰 张一源 曾凤 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2011年第6期1838-1843,共6页
The effects of Al2O3 addition on both the sintering behavior and microwave dielectric properties of PbO-B203-SiO2 glass ceramics were investigated by Fourier transform infrared spectroscope (FTIR), differential ther... The effects of Al2O3 addition on both the sintering behavior and microwave dielectric properties of PbO-B203-SiO2 glass ceramics were investigated by Fourier transform infrared spectroscope (FTIR), differential thermal analysis (DTA), X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). The results show that with the increase of Al2O3 content the bands assigned to [SiO4] nearly disappear. Aluminum replaces silicon in the glass network, which is helpful for the formation of boron-oxygen rings. The increase of the transition temperature Tg and softening temperature Tf of PbO-B2O3-SiO2 glass ceramics leads to the increase of liquid phase precipitation temperature and promotes the structure stability in the glasses, and consequently contributes to the decreasing trend of crystallization. Densification and dielectric constants increase with the increase of Al2O3 content, but the dielectric loss is worsened. By contrast, the 3% (mass fraction) Al2O3-doped glass ceramics sintered at 725℃ have better properties of density p=2.72 g/cm3, dielectric constant Er=6.78, dielectric loss tan8=2.6×10^-3 (measured at 9.8 GHz), which suggest that the glass ceramics can be applied in multilayer microwave devices requiring low sintering temperatures. 展开更多
关键词 PbO-B203-SiO2 glass ceramics AL2O3 Fourier transform infrared spectroscope MICROSTRUCTURE dielectric properties
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