Ti及Ti合金中氦泡形貌的透射电镜研究

利用磁控溅射方法在Ti、TiZr和TiMo合金膜中引入氦并进行热处理后，用透射电镜观察膜材中的氦泡。所观察到的氦泡可为多面体形或球体形，或多数为球形化的多面体形。在800℃热处理后的Ti和TiZr合金中均观察到规则的六边形和八边形氦泡，对应基体材料单晶平衡外形多面体的投影。720℃热处理40rain后，TiZr合金膜中的氦泡比同样温度热处理130min后的接近球形。在600～650℃热处理30～60min后．合金中的氦泡比纯Ti中的氦泡更接近球形，生长受到的阻碍更大。除热处理温度、时间和合金成分外，晶界和其他氦泡也会影响氦泡形貌。在三叉晶界处的氦泡比晶界处的氦泡圆滑。氦泡在与其他氦泡邻近的部分会变得圆滑，促使自身向对方运动，促进氦泡的合并、长大。