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基于CO_(2)激光单点加热的微泡腔制备及其性能研究
1
作者
郭涛
麻艳娜
+1 位作者
顾兆麒
谷付星
《光学仪器》
2021年第2期55-60,共6页
为了简化微泡腔的制备工艺,在传统CO_(2)激光双向加热方案的基础上,采用CO_(2)激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,增加加热面积的方式制备出球形的微泡腔。使用光学显微...
为了简化微泡腔的制备工艺,在传统CO_(2)激光双向加热方案的基础上,采用CO_(2)激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,增加加热面积的方式制备出球形的微泡腔。使用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对制备的球形微泡腔进行表征,并通过COMSOL仿真验证了所制备微泡腔的性能。所制备的微泡腔表面光滑,壁厚最薄处可达到亚微米量级。研究结果表明,通过CO_(2)激光单点加热制备的微泡腔的壁厚存在轻微的不均匀性,但其谐振Q值仍然较高,可广泛应用于传感领域。
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关键词
CO_(2)激光
单点加热
球形微泡腔
谐振品质因数
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职称材料
题名
基于CO_(2)激光单点加热的微泡腔制备及其性能研究
1
作者
郭涛
麻艳娜
顾兆麒
谷付星
机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
出处
《光学仪器》
2021年第2期55-60,共6页
文摘
为了简化微泡腔的制备工艺,在传统CO_(2)激光双向加热方案的基础上,采用CO_(2)激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,增加加热面积的方式制备出球形的微泡腔。使用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对制备的球形微泡腔进行表征,并通过COMSOL仿真验证了所制备微泡腔的性能。所制备的微泡腔表面光滑,壁厚最薄处可达到亚微米量级。研究结果表明,通过CO_(2)激光单点加热制备的微泡腔的壁厚存在轻微的不均匀性,但其谐振Q值仍然较高,可广泛应用于传感领域。
关键词
CO_(2)激光
单点加热
球形微泡腔
谐振品质因数
Keywords
CO_(2)laser
single-spot heating
spherical microbubble
resonant quality factor
分类号
O434.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
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1
基于CO_(2)激光单点加热的微泡腔制备及其性能研究
郭涛
麻艳娜
顾兆麒
谷付星
《光学仪器》
2021
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