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球形金刚石的形成机制
被引量:
6
1
作者
邱万奇
刘正义
陈剑惠
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期566-569,共4页
在 p Si(10 0 )基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜。用XL30FEG扫描电镜、X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究 ,并对其形成机制进行了分析。结果表明 :球形金刚石的颗粒密度和形核...
在 p Si(10 0 )基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜。用XL30FEG扫描电镜、X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究 ,并对其形成机制进行了分析。结果表明 :球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致 ,球形金刚石由微晶金刚石组成 ,晶粒尺寸为 70~ 2 0 0nm ;微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成 ,呈无序分布 ;
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关键词
微晶
二次形核
化学气相沉积法
金刚石
薄膜
球形金刚石
形成机制
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职称材料
球形金刚石的生长机理研究
2
作者
黄元盛
邱万奇
罗承萍
《韶关学院学报》
2007年第3期61-63,共3页
用热丝化学气相沉积设备研究了钢渗铬层、P-Si(100)基片和三氧化二铝基底表面形成的球形金刚石.研究结果表明:在不适合球形金刚石形成的工艺条件下,在P-Si(100)基片和三氧化二铝表面沉积的晶形很好的金刚石膜中也存在球形金刚石团块(称...
用热丝化学气相沉积设备研究了钢渗铬层、P-Si(100)基片和三氧化二铝基底表面形成的球形金刚石.研究结果表明:在不适合球形金刚石形成的工艺条件下,在P-Si(100)基片和三氧化二铝表面沉积的晶形很好的金刚石膜中也存在球形金刚石团块(称为异常长大金刚石团块);首次使用金刚石“异常晶核”解释了异常长大金刚石团块的形成.球形金刚石膜由异常长大金刚石团块组成.异常长大金刚石团块的形成不但与沉积工艺参数有关,而且与CVD金刚石生长特性有关.
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关键词
球形金刚石
金刚石
团块
异常长大
异常晶核
气相沉积
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职称材料
锥球形金刚石强化柱齿
3
《中国科技产业》
2003年第8期77-77,共1页
关键词
锥
球形金刚石
强化柱齿
复合材料
冲击韧性
耐磨性
钻头
工具材料
下载PDF
职称材料
题名
球形金刚石的形成机制
被引量:
6
1
作者
邱万奇
刘正义
陈剑惠
机构
华南理工大学机电工程系
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期566-569,共4页
基金
广东省自然科学基金资助项目 ( 990 5 48)
国家教委博士点基金资助项目 ( 19990 5 6 12 1)
文摘
在 p Si(10 0 )基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜。用XL30FEG扫描电镜、X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究 ,并对其形成机制进行了分析。结果表明 :球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致 ,球形金刚石由微晶金刚石组成 ,晶粒尺寸为 70~ 2 0 0nm ;微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成 ,呈无序分布 ;
关键词
微晶
二次形核
化学气相沉积法
金刚石
薄膜
球形金刚石
形成机制
Keywords
diamond
micro-crystal
second nucleating
chemical vapor deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
球形金刚石的生长机理研究
2
作者
黄元盛
邱万奇
罗承萍
机构
韶关学院机电系
华南理工大学机械工程学院
出处
《韶关学院学报》
2007年第3期61-63,共3页
基金
广东省自然科学基金项目(013004
04300026)
韶关市科技计划项目(2004-14)
文摘
用热丝化学气相沉积设备研究了钢渗铬层、P-Si(100)基片和三氧化二铝基底表面形成的球形金刚石.研究结果表明:在不适合球形金刚石形成的工艺条件下,在P-Si(100)基片和三氧化二铝表面沉积的晶形很好的金刚石膜中也存在球形金刚石团块(称为异常长大金刚石团块);首次使用金刚石“异常晶核”解释了异常长大金刚石团块的形成.球形金刚石膜由异常长大金刚石团块组成.异常长大金刚石团块的形成不但与沉积工艺参数有关,而且与CVD金刚石生长特性有关.
关键词
球形金刚石
金刚石
团块
异常长大
异常晶核
气相沉积
Keywords
ball-like diamond
diamond conglomeration
abnormal growth
abnormal nuclei
chemical vapor deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
锥球形金刚石强化柱齿
3
出处
《中国科技产业》
2003年第8期77-77,共1页
关键词
锥
球形金刚石
强化柱齿
复合材料
冲击韧性
耐磨性
钻头
工具材料
分类号
TG704 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
球形金刚石的形成机制
邱万奇
刘正义
陈剑惠
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
下载PDF
职称材料
2
球形金刚石的生长机理研究
黄元盛
邱万奇
罗承萍
《韶关学院学报》
2007
0
下载PDF
职称材料
3
锥球形金刚石强化柱齿
《中国科技产业》
2003
0
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职称材料
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