同步辐射球面闪耀光栅的研制

A spherical blazed grating (SBG) of 1200l/mm was successfully fabricated for the Seya Namioka monochromator of photochemistry experiment station at National Synchrotron Radiation Laboratory with the holographic ion beam technique. In addition to the general process, the photoresist ashing technique is developed for achieving good quality gratings.

化学镀NiP的凸面闪耀光栅超精密切削特性研究

凸球面闪耀光栅的切削表面质量直接影响Offner型光谱成像系统的性能。采用微晶铝6061表面化学镀NiP作为凸球面闪耀光栅的材料,首先通过材料性能表征手段研究其切削性能;其次通过模拟二维楔形工件切削过程和三维凸面闪耀光栅切削过程来确定其最小未变形切屑厚度和研究刀具倾斜角度对切屑流动和应力分布的影响规律;最后通过改变进给方向对比凸球面闪耀光栅的切削表面质量。研究结果表明化学镀NiP表现出明显的非晶特性,涂层表面和内部的元素分布均匀,车削平面的粗糙度值Ra可达0.794 nm;化学镀NiP的最小未变形切屑厚度约为30.52 nm,而刀具倾斜角度的增大是导致陡峭侧更易形成毛刺的原因;进给方向沿陡峭侧方向可改善光栅顶部毛刺,提高轮廓精度,但是对闪耀面粗糙度并没有改善,最终闪耀面粗糙度Ra均小于3 nm。