超导铌腔电抛光去除厚度的控制方法

我公司和北京大学于2017年共同建立了电抛光(electro-polishing,简称"EP")装置,并对EP去除厚度的控制方法进行了大量试验,从称重、超声波测厚仪测厚及理论跟踪计算三个方面阐述了超导铌腔EP过程中去除厚度的控制方法。试验主要以理论跟踪计算为主,称重和超声波测厚仪测厚为辅来验证理论跟踪计算的准确性.通过多次EP试验,结果表明理论跟踪计算是控制EP去除厚度最为直接、可靠的一种方法。