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前景广阔的声表面波传感技术
被引量:
2
1
作者
施文康
韩韬
《世界产品与技术》
2003年第3期38-38,40,共2页
本文着重介绍了新型传感器技术引人注目的一个分支——声表面波传感技术。由于它所特具的众多优点和极其宽广的应用范围,被誉为传感技术领域内的“多面手”。介绍了瑞利波模式表面波传感器的无线和气体传感的典型应用,讨论了可用于液体...
本文着重介绍了新型传感器技术引人注目的一个分支——声表面波传感技术。由于它所特具的众多优点和极其宽广的应用范围,被誉为传感技术领域内的“多面手”。介绍了瑞利波模式表面波传感器的无线和气体传感的典型应用,讨论了可用于液体敏感的声波模式以及相应的传感器。本文还就声表面波传感技术的研究方向和发展等问题发表了作者的见解。
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关键词
声表面波传感技术
瑞利波模式
气体传感器
发展趋势
MEMS技术
下载PDF
职称材料
题名
前景广阔的声表面波传感技术
被引量:
2
1
作者
施文康
韩韬
机构
上海交通大学
出处
《世界产品与技术》
2003年第3期38-38,40,共2页
文摘
本文着重介绍了新型传感器技术引人注目的一个分支——声表面波传感技术。由于它所特具的众多优点和极其宽广的应用范围,被誉为传感技术领域内的“多面手”。介绍了瑞利波模式表面波传感器的无线和气体传感的典型应用,讨论了可用于液体敏感的声波模式以及相应的传感器。本文还就声表面波传感技术的研究方向和发展等问题发表了作者的见解。
关键词
声表面波传感技术
瑞利波模式
气体传感器
发展趋势
MEMS技术
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
前景广阔的声表面波传感技术
施文康
韩韬
《世界产品与技术》
2003
2
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