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基于硅桥的新型甲醛气体传感器的研究 被引量:7
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作者 郭辉辉 陈向东 +2 位作者 杜广涛 姚尧 李辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期138-143,共6页
提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测。基于... 提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测。基于弹性力学薄板原理构建了该气体传感器中硅桥与改性丙烯酸酯薄膜相互作用的模型,并推导出传感器的输出公式。实验结果验证了理论分析模型,实验结果表明该传感器有很好的线性,选择性。实验测得该传感器灵敏度为0.975×106ecr,分辨率为10×10-6,响应时间和恢复时间分别为50 s和65 s。该传感器结构简单、无须加热,工艺成熟、成本低,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。 展开更多
关键词 溶胀效应 甲醛气体传感器 硅桥 MEMS 改性丙烯酸酯
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甲醛气体传感器研究进展 被引量:7
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作者 郑良军 程军 +3 位作者 谢劲灿 黄娟慧 向翠丽 邹勇进 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第7期1-4,8,共5页
甲醛是室内主要气体污染物之一,严重危害人类身体健康。因此,开发高灵敏度和选择性的甲醛传感器显得非常重要。综述了近年来甲醛气体传感器的研究进展,从甲醛气体传感器敏感材料的制备、传感性能和存在的问题等方面进行了讨论,并指出了... 甲醛是室内主要气体污染物之一,严重危害人类身体健康。因此,开发高灵敏度和选择性的甲醛传感器显得非常重要。综述了近年来甲醛气体传感器的研究进展,从甲醛气体传感器敏感材料的制备、传感性能和存在的问题等方面进行了讨论,并指出了甲醛气体传感器的发展趋势。 展开更多
关键词 甲醛气体传感器 灵敏度 稳定性 选择性
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基于不同金属氧化物的甲醛气体传感器的研究进展 被引量:1
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作者 杨思彤 王锐 吴汉光 《北京服装学院学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第1期83-91,共9页
甲醛是一种致癌、致基因突变的有毒污染物,会对人类的身体健康造成严重威胁。近年来,甲醛监测技术不断创新,基于SnO_(2)、In_(2)O_(3)、ZnO等金属氧化物的甲醛传感器,因其响应快、工作稳定、成本低、制造简单等优点而得到广泛的研究与... 甲醛是一种致癌、致基因突变的有毒污染物,会对人类的身体健康造成严重威胁。近年来,甲醛监测技术不断创新,基于SnO_(2)、In_(2)O_(3)、ZnO等金属氧化物的甲醛传感器,因其响应快、工作稳定、成本低、制造简单等优点而得到广泛的研究与关注。综述了近些年基于不同金属氧化物的甲醛气体传感器的发展现状,讨论了不同传感器的制备方法、感应性能及存在问题,并展望了金属氧化物甲醛传感器的发展趋势,为将来甲醛传感器的研制提供了思路。 展开更多
关键词 甲醛气体传感器 金属氧化物 感应性能
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基于CC2530的甲醛浓度检测报警系统设计
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作者 陈浩 张靖 《电脑知识与技术(过刊)》 2017年第7X期237-239,共3页
智能产品已越来越应用在商业、农业、环境保护产业等领域,对芯片的选择就显得尤为重要,CC2530芯片就是一款性能较优的智能芯片,它具有低功耗、高效率、低成本的特点。该文将CC2530芯片应用于对甲醛气体的信息采集,传感器采用甲醛专用传... 智能产品已越来越应用在商业、农业、环境保护产业等领域,对芯片的选择就显得尤为重要,CC2530芯片就是一款性能较优的智能芯片,它具有低功耗、高效率、低成本的特点。该文将CC2530芯片应用于对甲醛气体的信息采集,传感器采用甲醛专用传感器(甲醛探头+CH20传感器)作为甲醛检测,利用CC2530的无线传输特点,将终端节点采集的数据上传到上位机节点进行处理,实现了甲醛气体浓度检测报警系统的设计。 展开更多
关键词 CC2530 A/D转换 甲醛气体传感器 报警器
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