TP212 2000064058CCD直接细分光栅位移传感器的研究=Study of displacementsensor using CCD to subdivide gratingdirectly[刊,中]/何树荣,尚宗扬(清华大学精密仪器系.北京(100084))//光学技术.—1999,(3).—1—3,7介绍一种采用CCD为...TP212 2000064058CCD直接细分光栅位移传感器的研究=Study of displacementsensor using CCD to subdivide gratingdirectly[刊,中]/何树荣,尚宗扬(清华大学精密仪器系.北京(100084))//光学技术.—1999,(3).—1—3,7介绍一种采用CCD为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用CCD分辨率高。展开更多
文摘TP212 2000064058CCD直接细分光栅位移传感器的研究=Study of displacementsensor using CCD to subdivide gratingdirectly[刊,中]/何树荣,尚宗扬(清华大学精密仪器系.北京(100084))//光学技术.—1999,(3).—1—3,7介绍一种采用CCD为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用CCD分辨率高。