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毛细管电泳芯片的制造
被引量:
15
1
作者
汤扬华
周兆英
+2 位作者
叶雄英
冯焱颖
金亚
《微细加工技术》
2001年第1期62-66,共5页
研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实...
研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。
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关键词
湿法刻蚀
毛细管
电冰芯片
玻璃
专用集成
电
路
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职称材料
题名
毛细管电泳芯片的制造
被引量:
15
1
作者
汤扬华
周兆英
叶雄英
冯焱颖
金亚
机构
清华大学精仪系
出处
《微细加工技术》
2001年第1期62-66,共5页
基金
国家自然科学基金!资助项目 (2 98330 70 )
文摘
研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。
关键词
湿法刻蚀
毛细管
电冰芯片
玻璃
专用集成
电
路
Keywords
wet etching
bonding
capillary electrophoresis chip
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
毛细管电泳芯片的制造
汤扬华
周兆英
叶雄英
冯焱颖
金亚
《微细加工技术》
2001
15
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