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毛细管电泳芯片的制造 被引量:15
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作者 汤扬华 周兆英 +2 位作者 叶雄英 冯焱颖 金亚 《微细加工技术》 2001年第1期62-66,共5页
研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实... 研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。 展开更多
关键词 湿法刻蚀 毛细管 电冰芯片 玻璃 专用集成
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