钼合金电子束区域熔炼过程失稳分析及对策

Mo合金在电子束区域熔炼过程中,熔区的稳定性对于材料的提纯和单晶生长至关重要。熔区稳定性实质是电子束区域熔炼炉高压电源系统电参数稳定性的体现,而电子束区域熔炼炉高压电源系统电参数失稳的因素较多。针对Mo合金区域熔炼过程高压电源系统电参数失稳的现象,本文分析了产生电参数失稳的原因,包括阳极棒料、真空度、熔炼过程产生的涂覆物和高压电源系统自身的等效内阻、控制电路响应时间等,并提出了相应的解决措施。结果表明,综合考虑上述几方面的影响因素并采取相应的解决措施,区域熔炼过程中高压电源系统电参数失稳问题可以得到有效解决。