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数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响
被引量:
1
1
作者
田洪淼
邵金友
+2 位作者
丁玉成
李欣
李祥明
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012年第11期736-742,共7页
电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程...
电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程中电场分布与诱导结构之间的关系,仿真分析了在此过程中各外部因素(电压、空气间隙与膜厚)对复型结构的影响。仿真结果表明,初始时刻聚合物薄膜表面的电场分布在复型过程中起决定性作用;同时,合理地调节施加电压,模板与聚合物薄膜间的空气间隙以及聚合物薄膜厚度都可以有效提高复型结构的质量。
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关键词
电场诱导聚合物流变成型技术
电
流
体动力学
动网格
技术
微纳结构
数值仿真
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职称材料
题名
数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响
被引量:
1
1
作者
田洪淼
邵金友
丁玉成
李欣
李祥明
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012年第11期736-742,共7页
基金
国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040)
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202)
中央高校基本科研业务费资助项目(xjj20100145)
文摘
电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程中电场分布与诱导结构之间的关系,仿真分析了在此过程中各外部因素(电压、空气间隙与膜厚)对复型结构的影响。仿真结果表明,初始时刻聚合物薄膜表面的电场分布在复型过程中起决定性作用;同时,合理地调节施加电压,模板与聚合物薄膜间的空气间隙以及聚合物薄膜厚度都可以有效提高复型结构的质量。
关键词
电场诱导聚合物流变成型技术
电
流
体动力学
动网格
技术
微纳结构
数值仿真
Keywords
electrically induced patterning technique
electrohydrodynamic
dynamic grid technology
micro-or nano-structure
numerical simulation
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TB712 [一般工业技术—真空技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响
田洪淼
邵金友
丁玉成
李欣
李祥明
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012
1
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职称材料
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参考文献
引证文献
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