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现代有机电子功能薄膜及器件
被引量:
1
1
作者
杨大本
《电子瞭望》
1993年第1期2-4,11,共4页
关键词
电子功能薄膜
电子
器件
全文增补中
钽氮化合物电阻薄膜的研究进展
被引量:
1
2
作者
杨曌
付振晓
+3 位作者
沓世我
王鑫豪
姚日晖
宁洪龙
《真空》
CAS
2022年第6期34-39,共6页
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受性好和阻值可调范围大等优点,是高性能电阻薄膜的优选材料。本文综述了钽氮化合物薄膜材料的研究进展,从材料的制备工艺参数、后处理方式、微观相结构和元素掺杂等出发,...
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受性好和阻值可调范围大等优点,是高性能电阻薄膜的优选材料。本文综述了钽氮化合物薄膜材料的研究进展,从材料的制备工艺参数、后处理方式、微观相结构和元素掺杂等出发,挖掘了获得高性能薄膜电阻的核心影响因素;结合国内外研究现状,对钽氮化合物薄膜电阻进一步发展存在的难点进行了分析。钽氮化合物薄膜已经成为电子功能材料发展的关键之一,通过元素掺杂和后处理改善薄膜质量将成为进一步拓展其应用领域的重要手段。
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关键词
电子功能薄膜
钽氮化物
薄膜
电阻
物相
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职称材料
α-Al_2O_3(0001)基片表面结构与能量研究
被引量:
17
3
作者
杨春
李言荣
+4 位作者
薛卫东
陶佰万
刘兴钊
张鹰
黄玮
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期2268-2273,共6页
对α Al2 O3( 0 0 0 1)晶体表层三种不同终止原子结构的计算模型 ,在三维周期边界条件下的κ空间中 ,采用超软赝势平面波函数描述多电子体系 .应用基于密度泛函理论的局域密度近似 ,计算了不同表层结构的体系能量 ,表明最表层终止原子...
对α Al2 O3( 0 0 0 1)晶体表层三种不同终止原子结构的计算模型 ,在三维周期边界条件下的κ空间中 ,采用超软赝势平面波函数描述多电子体系 .应用基于密度泛函理论的局域密度近似 ,计算了不同表层结构的体系能量 ,表明最表层终止原子为单层Al的表面结构最稳定 .对由 10个原子组成的菱形原胞进行了结构优化 ,得到晶胞参数值(a0 =0 4 8178nm)与实验报道值误差小于 1 3% .进一步计算了超晶胞 ( 2× 2 )表面弛豫 ,弛豫后原第 2层O原子层成为最表层 ;对不同表层O ,Al原子最外层电子进行了布居分析 ,表面电子有更大的概率被定域在O原子的周围 。
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关键词
α-Al2O3(0001)基片
表面结构
能量
电子
表面态
电子功能薄膜
材料
超晶胞
表面弛豫
超软赝势
原文传递
题名
现代有机电子功能薄膜及器件
被引量:
1
1
作者
杨大本
出处
《电子瞭望》
1993年第1期2-4,11,共4页
关键词
电子功能薄膜
电子
器件
分类号
TN04 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
钽氮化合物电阻薄膜的研究进展
被引量:
1
2
作者
杨曌
付振晓
沓世我
王鑫豪
姚日晖
宁洪龙
机构
广东风华高新科技股份有限公司
新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
华南理工大学材料科学与工程学院
出处
《真空》
CAS
2022年第6期34-39,共6页
基金
广东省重点领域研发计划(2020B010183002)
广东省基础与应用基础研究重大项目(No.2019B030302007)
+4 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金(2020ZYGXZR060)
季华实验室自主立项项目“AM-Micro/Mini LED大尺寸显示器关键技术研究”(X190221TF191)
2021年广东大学生科技创新培育专项资金(“攀登计划”专项资金pdjh2021b0036)
大学生创新创业训练计划项目(No.S202110561184)
国家高新技术研究发展计划项目(2013AA712032)。
文摘
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受性好和阻值可调范围大等优点,是高性能电阻薄膜的优选材料。本文综述了钽氮化合物薄膜材料的研究进展,从材料的制备工艺参数、后处理方式、微观相结构和元素掺杂等出发,挖掘了获得高性能薄膜电阻的核心影响因素;结合国内外研究现状,对钽氮化合物薄膜电阻进一步发展存在的难点进行了分析。钽氮化合物薄膜已经成为电子功能材料发展的关键之一,通过元素掺杂和后处理改善薄膜质量将成为进一步拓展其应用领域的重要手段。
关键词
电子功能薄膜
钽氮化物
薄膜
电阻
物相
Keywords
electronic functional film
tantalum nitride
thin film resistance
physical phase
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
α-Al_2O_3(0001)基片表面结构与能量研究
被引量:
17
3
作者
杨春
李言荣
薛卫东
陶佰万
刘兴钊
张鹰
黄玮
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
中国物理工程研究院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第9期2268-2273,共6页
基金
四川省应用基础研究项目 (批准号:0 2GY0 2 9-0 0 6)
四川省教育厅重点项目 (批准号:2 0 0 2A0 86)资助的课题~~
文摘
对α Al2 O3( 0 0 0 1)晶体表层三种不同终止原子结构的计算模型 ,在三维周期边界条件下的κ空间中 ,采用超软赝势平面波函数描述多电子体系 .应用基于密度泛函理论的局域密度近似 ,计算了不同表层结构的体系能量 ,表明最表层终止原子为单层Al的表面结构最稳定 .对由 10个原子组成的菱形原胞进行了结构优化 ,得到晶胞参数值(a0 =0 4 8178nm)与实验报道值误差小于 1 3% .进一步计算了超晶胞 ( 2× 2 )表面弛豫 ,弛豫后原第 2层O原子层成为最表层 ;对不同表层O ,Al原子最外层电子进行了布居分析 ,表面电子有更大的概率被定域在O原子的周围 。
关键词
α-Al2O3(0001)基片
表面结构
能量
电子
表面态
电子功能薄膜
材料
超晶胞
表面弛豫
超软赝势
Keywords
α-Al 2O 3(0001), ultra soft pseudopotential, surface state, surface structure
分类号
O485 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
现代有机电子功能薄膜及器件
杨大本
《电子瞭望》
1993
1
全文增补中
2
钽氮化合物电阻薄膜的研究进展
杨曌
付振晓
沓世我
王鑫豪
姚日晖
宁洪龙
《真空》
CAS
2022
1
下载PDF
职称材料
3
α-Al_2O_3(0001)基片表面结构与能量研究
杨春
李言荣
薛卫东
陶佰万
刘兴钊
张鹰
黄玮
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
17
原文传递
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