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具有宽测量范围的扫描探针显微镜 被引量:1
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作者 张鸿海 李文菊 +1 位作者 周学夫 曹伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期138-142,共5页
本文介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜,它能对Φ130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果,如高定向石墨的原子图像与光栅和超... 本文介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜,它能对Φ130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果,如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。 展开更多
关键词 宽测量范围 扫描探针显微镜 力传感器 超精密磨削 高定向石墨 扫描热显微镜 电子反馈回路 隧道电流 测量原理 隧道结
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