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消除俄歇电子能谱实验中氧化物表面荷电的新方法 被引量:1
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作者 郭汉生 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B01期53-57,共5页
为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,  引入环境俄歇电子能谱方法对于消除入射电子束 对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能 正离子束优越,也比 1.3×... 为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,  引入环境俄歇电子能谱方法对于消除入射电子束 对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能 正离子束优越,也比 1.3×10-2Pa 展开更多
关键词 俄歇电子能谱 电子受激脱附 氧化物 表面荷电 氧气环境 绝缘材料 电荷补偿机理 表面分析
全文增补中
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